刘智超
,
李英爱
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王静
,
顾广瑞
,
吴宝嘉
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20122703.0297
利用微波等离子体化学气相沉积法,在Si(100)衬底上制备了碳纳米球薄膜.利用拉曼光谱和场发射扫描电子显微镜研究了薄膜的结构以及表面形貌,表明碳纳米球薄膜是由约2～3μm长、100 nm宽的无定形碳纳米片相互缠绕、交织成球状而构成的.在高真空系统中测量了碳纳米球薄膜的场发射特性,结果表明,碳纳米球薄膜具有良好的场发射特性,阈值电场为3.1 V/μm,当电场增加到10 V/μm时,薄膜的场发射电流密度可达到60.7 mA/cm2.通过三区域电场模型合理地解释了碳纳米球薄膜在低电场、中间电场和高电场区域的场发射特性.
关键词:
微波等离子体化学气相沉积
,
碳纳米球薄膜
,
场发射
