任雯
,
梁海锋
,
蔡长龙
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2012.03.007
采用磁控溅射技术沉积碳钛颗粒膜,应用图形化工艺制作基于碳钛颗粒膜的表面电子发射原型器件.在幅值渐增的三角波电压作用下,器件在电压幅值低于17V时,伏安特性呈明显的线性特性,对应的薄膜表面没有变化；进一步升高器件电压幅值,伏安特性呈明显的负阻特性,同时可以观测到表面电子发射,表面电子发射最大达到7.2μA,发射效率达到了0.094 3％,薄膜表面失色,产生明显的孔洞结构.根据F-N理论拟合器件电压和发射电流,所得Ie-Vf特性曲线呈直线,表明发射电子源于场致电子发射.
关键词:
碳钛颗粒膜
,
表面传导电子发射
,
伏安特性
,
场致发射
