弥谦
,
王昆
,
刘哲
表面技术
采用直流磁过滤电弧源技术,在K9玻璃基底上制备氧化铝薄膜,研究了沉积时的氧气分量和阴极靶电流对薄膜折射率、沉积速率、消光系数和表面粗糙度的影响.结果表明:薄膜折射率、沉积速率和消光系数均随着氧气分量的增加而降低,随着阴极靶电流的升高而增加；薄膜表面粗糙度则随氧气分量或阴极靶电流的增加,呈先减小、后增大的趋势.分析认为,主要是因为随着氧气分量和阴极靶电流的变化,基底表面铝原子和氧气的比例发生了改变,进而影响到薄膜的相关性能.
关键词:
电弧源
,
磁过滤
,
氧化铝薄膜
,
氧气分量
,
阴极靶电流
