材料期刊网

二氧化钛薄膜制备的影响因素

廉冰娴 , 邱望标 , 杨绿 , 许兵

电镀与精饰 doi:10.3969/j.issn.1001-3849.2009.03.012

采用阳极氧化法制取二氧化钛薄膜,研究了电压加载方式对薄膜表面的影响以及不同磷酸质量浓度对成膜过程的影响.结果表明:采用缓加渐进方式施加电压有利于形成无斑点、表面均匀的薄膜;阻挡层电阻和厚度随磷酸质量浓度的增加而减小.

关键词: 阳极氧化 , 氧化电压 , 磷酸质量浓度 , 二氧化钛