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离子束轰击对多层膜摩擦学性能的影响

张伟 , 薛群基 , 张绪寿

金属学报

用Ne离子束混合法制备了Ni/Cr多层膜,用Auger光电子能谱(AES)、X射线衍射(XRD)分析离子束混合多层膜的元素组成、分布和相结构,将其结果与简单蒸发沉积的Ni/Cr多层膜结构进行比较同时,对多层膜(轰击与未轰击)的硬度及摩擦学性能进行测定分析比较结果表明,离子束混合多层膜的硬度和抗磨性能与简单蒸发沉积多层膜相比都有提高这主要是因为Ne离子的轰击作用使多层膜更加致密及膜内的碳化铬硬质弥散相向界面处偏聚,使多层界面的强化作用得到加强,从而提高了多层膜的抗磨性能

关键词: 离子束混合 , Ni/Cr multilayer film , friction and wear , interface strengthening

预沉积Cu膜对不锈钢基体上沉积C-90%SiC涂层的影响

杜纪富 , 孙彩霞

表面技术

C-90% SiC涂层涂覆在不锈钢废物包装桶的内壁上,可以有效防止放射性废物中氚的渗透,涂层与不锈钢基体材料的粘着性能是此类阻氚涂层使用寿命长短的关键.采用中频磁控溅射结合离子束混合技术,在不锈钢基体上沉积C-90% SiC涂层,探索提高涂层粘着性能的方法,通过二次离子质谱和SEM形貌表征涂层与基体之间的结合性能.结果表明,预沉积一层Cu膜,可以使涂层与基体之间的元素混合效应大大提高,有利于提高涂层的粘着性能.

关键词: 阻氚涂层 , C-SiC涂层 , Cu预沉积 , 离子束混合 , 结合性能

离子束混合过程中Au/Fe磁性膜的巨磁电阻效应在线研究

李波 , 李正孝

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2005.02.025

在离子束混合和强磁场条件下, 在线研究了Au/Fe磁性膜的巨磁电阻效应, 发现了不同磁场强度下的离子束混合对巨磁电阻效应影响的规律, 以及不同注入条件对样品饱和磁场的影响.讨论了样品由磁性多层膜逐渐向磁性纳米颗粒膜的转变, 以及与此相关的纳米磁性颗粒在磁场作用下的非各向同性生长, 并通过高分辨透射电镜(TEM)观察证实了磁性膜样品中磁性纳米Fe颗粒存在各向异性生长现象.通过对室温放置了一年以上的磁性纳米颗粒膜样品的电磁物性测量, 证明利用离子束混合技术制备的纳米颗粒膜在室温具有良好的热稳定性和时间稳定性.

关键词: 巨磁电阻 , 离子束混合 , 磁性多层膜 , 磁性颗粒膜 , 透射电子显微镜

注入氮离子的SiC涂层阻氢性能研究

王小英 , 邹觉生 , 黄宁康

材料保护 doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2002.02.010

利用离子束混合-离子注入(Ar+)和磁控溅射相结合的实验技术在HR-1不锈钢基体上制备了注入N+的SiC涂层,并用表面分析手段对所制备涂层的表面形貌、剖面形貌、相结构、表面成分、表面元素的化学态进行了分析.结果表明:制备的涂层结构致密、表面平整、膜层成分均匀;涂层与基体之间形成了一明显的过渡层,增强了涂层和基体之间的结合力.用二次离子质谱(SIMS)对充氘涂层的阻氢性能进行了定性分析.结果表明:涂层元素与氢形成稳定的化学键,抑制了氢的扩散和迁移,使得涂层具有一定的阻氢能力.

关键词: 离子束混合 , 注入N+ , SiC涂层 , 阻氢涂层

H+辐照前后Mo涂层表面的XPS分析

刘春海 , 杜晓松 , 汪德志 , 黄宁康 , 杨斌

功能材料

对离子束混合技术在不锈钢基体上沉积的钼膜进行了H+辐照前后的XPS分析,研究了H+辐照对钼膜的结合能的影响.分析结果表明,沉积的钼膜中除了单质钼外,还有部分钼的氧化物;H+辐照结果表明,H+的辐照使钼的结合能向低能方向偏移;钼的氧化物有所减少,说明污染的氧化物在一定程度上被择优溅射掉.

关键词: 离子束混合 , Mo薄膜 , H+辐照 , XPS分析

多层膜离子束混合研究亚稳合金形成和理论模型的进展(英文)

柳百新 , 陈益钢 , 金瓯

材料研究学报

迄今为止,已经研究了大约90个二元金属系统的多层膜离子束混合,获得了许多非晶态合金(金属玻璃)。离子束混合不仅能在负生成热的,通常认为是易玻璃化的系统中合成金属玻璃,而且在正生成热的非玻璃系统,甚至在正生成热很大的互不固溶系统中也合成了金属玻璃。对此,用Miedema的生成热模型构造了二元金属系统的自由能图。在考虑了多层膜中的界面自由能后,提出了一个统一的热力学模型。对正生成热的系统,界面自由能使多层膜提高到比非晶相高的能态,从而有可能形成玻璃。而界面能对于负生成热提供的非晶化驱动力的影响可以忽略。另外,离子束混合也获得了五种结构类型的亚稳晶相(MX)。并从实验观察到的MX相和母相之间晶体学关系推导出MX相形成的原运动机制。自由能图包括了计算的MX相的自由能曲线后就更为完整了,可以用来预言离子束混合中有关合金相的形成。作者提出了用稳态退火实验来校验计算的自由能图在一些重要成份点的相对能态的合理性。实验表明,合金相的演化次序与计算推演的结果符合得很好,从而证实了Miedema理论的适用性。界面的概念也适用于同样开始于多层膜的固态反应技术。在一些正生成热的系统中,通过适当设计使多层膜中包含足够份额的界面,稳态退火确实获得了新的金属玻璃。

关键词: 离子束混合 , null , null , null , null

载能团簇离子在物质中的能量损失

丁富荣 , 史平 , 王尧 , 何卫红 , 聂锐

原子核物理评论 doi:10.3969/j.issn.1007-4627.2004.03.010

实验表明, 团簇离子在物质中的能量损失并不等于各成分单独作用的总和, 而是具有非线性效应.这种非线性效应与团簇离子的能量、团簇的种类和大小、团簇成分之间的空间关联程度以及作用物质的结构有关.对团簇作用的非线性效应研究对于了解团簇与物质相互作用的机制具有非常重要的理论意义.MeV能区的团簇离子在物质中的非线性电子能损和核能损方面的直接实验数据还相当缺乏, 其理论模型也更待建立.评述了载能团簇离子在物质中的能量损失及测量方法.

关键词: 团簇离子 , 非线性效应 , 能量损失 , 脉冲幅度亏损 , 离子束混合

离子束混合制备非晶Sm-Fe-Zr合金薄膜

徐送宁 , 孙树滋 , 宫泽祥 , 马腾才

材料研究学报

采用离子束混合技术制备非晶Sm—Fe-Zr合金薄膜,在Sin的含量为x=400,300,200m/g的Sm—Fe多层薄膜中,注入能量为60KeV,剂量为1×1017ion/cm2的Zr+,研究非晶形成条件及合金薄膜的磁性能.实验发现:三种成分配比的样品在Zr+注入后磁性能皆发生明显的变化.X=400mg/g样品没有形成非晶,其主相为SmFe5;x=300,200mg/g样品形成非晶,且x=200mg/g样品晶化后形成一个面心结构未知相和α—Fe相

关键词: 离子束混合 , null , null

Ar~(+)混合Fe-Dy多层膜的结构及性能

李胜利 , 王佩璇 , 阎凤章 , 马如璋

金属学报

用真空双源蒸镀法在Si单晶衬底上制备了Fe,Dy原子数比为3:2的Fe─Dy成分调制多层膜.用AES、RBS、X射线衍射(XRD)以及磁性测量分析了Ar~(+)混合前后Fe─Dy多层膜的相交.Ar~(+)离子注入能量110keV,剂量5×10~(15)─1×10~(17)/cm~2.结果表明,注入剂量为1×10~(17)/cm~2时,Fe,Dy完全混合,并且由晶态的Fe,Dy完全转变为Fe_(60)Dy_(40)(近似于该化学配比)的非晶态合金,随Ar~(+)注入量的增加,Fe一Dy多层膜的M_s下降,在剂量50×10~(15)/cm~2时下降幅度最大。

关键词: Fe─Dy多层膜 , amorpohization , magnetic property. , null

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