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李旸 , 昝林寒
材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2006.03.014
采用离子束溅射技术制备不同Pt/Ru比PtRu合金纳米载体薄膜材料.研究了薄膜中形成PtRu合金的结构特点和组分差异.结果表明该薄膜材料在成膜过程中既有Ru渗入Pt晶格之中又有Pt渗入Ru的晶格之中,属于(Pt)+(Ru)两相区的合金化过程.
关键词: 金属材料 , 离子束溅射技术 , PtRu合金 , 载体薄膜
李旸 , 杨滨 , 昝林寒
贵金属 doi:10.3969/j.issn.1004-0676.2004.04.009
采用离子束溅射技术,Pt和Ru双靶材通过制备工艺条件的设计,制备出含单质Pt、单质Ru及PtRu合金的纳米载体薄膜材料.采用X射线衍射、透射电镜、X射线光电子能谱等分析手段表征了薄膜材料的结构,验证了离子束溅射技术制备Pt合金薄膜的可操作性,并对Pt合金成膜规律进行了初步探索.
关键词: 金属材料 , 离子束溅射技术 , PtRu纳米合金 , 载体薄膜材料 , 结构表征
