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空心阴极等离子烧结AlN陶瓷

段成军 , 王群 , 王从曾 , 高帆 , 赵景泰

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2004.05.008

将空心阴极效应运用于AlN陶瓷的烧结, 选用自蔓延高温合成的AlN粉体为原料, 用 Y2O3-CaO-Li2O作为烧结助剂, 制备出了致密度高, 导热性能好的AlN陶瓷.在添加5.5wt% 的Y2O3-CaO-Li2O(Y2O3:Li2O:CaO=44:6:5wt%)作为烧结助剂, 在1700℃, 保温3h的烧结条件下, 获得相对密度为98.89%, 热导率为93.8 W/(m·K)AlN烧结体.烧结体的断口SEM照片显示烧结试样的晶粒生长发育完善, 晶粒轮廓清晰呈尖锐的多面体形状, 晶粒大小均匀, 气孔和晶界相少, 断裂模式为穿晶断裂.TEM表明: 晶界相少, 且大部分都缩至三角晶界, AlN颗粒与颗粒接触紧密.

关键词: 氮化铝 , 空心阴极等离子 , 热导率 , 致密度

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