汪爱英
,
孙超
,
黄荣芳
,
闻立时
材料研究学报
doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2003.04.002
使用在连续介质中建立的二维流场数学模型,模拟计算了在用HFCVD方法生长金刚石薄膜过程中影响气体温度分布的多个沉积工艺参数,研究了气体的速度和体密度的空间分布.结果表明,在优化工艺参数条件下,高温热丝的热阻塞作用导致气体状态参数的不均匀空间分布;在热丝附近气体的速度大而靠近反应腔体侧壁处小;热丝附近处气体体密度减小而靠近冷反应腔体侧壁处增加,采用绝热或高等温边界的反应腔管道壁可以消除气体的热绕流现象,有利于大面积金刚石薄膜的快速均匀生长.
关键词:
材料科学基础学科
,
空间场
,
模拟计算
,
金刚石薄膜
,
热丝化学气相沉积
李建国
,
刘实
,
李依依
,
胡东平
,
季锡林
,
梅军
,
周德惠
金属学报
doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2005.04.020
根据热丝化学气相沉积(HFCVD)金刚石薄膜的几何特点和工艺参数,建立了该系统的二维温度场、速度场和密度场的耦合模型.利用该模型对沉积大面积金刚石薄膜的空间场进行了模拟计算,研究了沉积参数对空间场的影响.结果表明,衬底处的温度分布和质量流密度的计算值与实测值相吻合.只有气体进口速度对质量流密度的均匀性影响最大,其它沉积参数对衬底温度的均匀性、质量流密度的均匀性影响不大.从热丝阵列的最低温度出发,优选出沉积100 mm×100 mm、高质量金刚石薄膜比较适宜的热丝几何参数.
关键词:
热丝化学气相沉积
,
耦合模型
,
空间场
,
模拟计算
宋贵宏
,
孙超
,
黄荣芳
,
闻立时
金属学报
本文对ＨＦＣＶＤ过程中的气体状态参数空间场进行了模拟计算, 结果表明, 气体的温度, 体密度, 速度和质量流密度场是空间位置的函数, 在合适的位置, 可获得均匀的温度和质量流密度, 这些结果可为制备大面积均匀金刚石薄膜时工艺参数选择提供理论依据.
关键词:
金刚石薄膜
,
null
,
null
,
null
李建国
,
刘实
,
李依依
,
胡东平
,
季锡林
,
梅军
,
周德惠
金属学报
根据热丝化学气相沉积(HFCVD)金刚石薄膜的几何特点和工艺参数, 建立了该系统的二维温度场、速度场和密度场的耦合模型。利用该模型对沉积大面积金刚石薄膜的空间场进行了模拟计算, 研究了沉积参数对空间场的影响。结果表明, 衬底处的温度分布和质量流密度的计算值与实测值相吻合。只有气体进口速度对质量流密度的均匀性影响最大, 其它沉积参数对衬底温度的均匀性、质量流密度的均匀性影响不大。 从热丝阵列的最低温度出发, 优选出沉积100 mm×100 mm、高质量金刚石薄膜比较适宜的热丝几何参数。
关键词:
热丝化学气相沉积
,
coupled model
,
spacial field
