刘洪喜
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蒋业华
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周荣
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汤宝寅
材料热处理学报
用等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID)复合强化新技术在AISI440C不锈钢表面制备了类金刚石(DLC)碳膜.膜层表面的原子力显微镜(AFM)形貌显示出DLC膜结构致密均匀.Raman光谱分析结果表明,制备的DLC主要是由金刚石键(sp~3)和石墨键(sp~2)组成的混合无定形碳膜,且sp~3键含量大于10%.以纯石墨棒做阴极,C_2H_2为工作气体条件下合成的DLC薄膜中,sp~3键含量总体上较单纯用石墨作阴极而无工作气体条件下合成的DLC薄膜中sp~3键含量高.与基体相比,薄膜试样的显微硬度和摩擦磨损性能均得到了较大改善,最大硬度提高88.7%,磨损寿命延长超过4倍.
关键词:
类金刚石碳膜(DLC)
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等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID)
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Raman光谱
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AISI440C不锈钢
