刘长林
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汪建华
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熊礼威
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刘繁
低温物理学报
大气微波等离子体矩具有无电极放电污染、无需昂贵真空设备和易于连续化加工等特点,具有广阔的应前景.本文设计了一套基于BJ26波导的微波能利用率高、稳定性好的大气微波等离子体装置.该装置由最高输出功为800W的2.45GHz程控微波源、调配系统、波导谐振腔和耦合天线组成.利用加装游标卡尺的接触式短路活塞,微波反射面位置进行高精度调节,通过对波导谐振腔和耦合天线的设计,在大气环境下实现了微波等离子体的放电在不同微波功率、气源以及气体流量条件下进行了等离子体放电实验.结果表明,微波功率为700W、氩气流量为3103cm3/min时,等离子体放电强度最高、稳定性最强.利用电磁场理论对各种实验结果进行了详尽的分析.
关键词:
大气压力
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等离子体炬
,
等离子体波导
,
放电
刘素田
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黑立富
,
耿春雷
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唐伟忠
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吕反修
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2006.03.015
采用自行研制的Q-500金刚石涂层沉积设备,同时采用两种不同结构的等离子体炬对经酸碱二步法处理后的硬质合金钻杆(YF06)分别进行了金刚石涂层的沉积,并对沉积后的样品表面进行了分析和研究.初步的研究结果表明:等离子体炬的结构对金刚石涂层的沉积影响很大,改进前的等离子体炬所产生的弧柱不稳,导致沉积温度波动幅度大,而改进后的等离子体炬能产生稳定的弧柱,沉积温度变化不大并且沉积的金刚石涂层具有大面积、均匀性好和高质量的特点.
关键词:
强电流直流扩展弧
,
等离子体炬
,
改进
,
金刚石涂层
,
均匀性
