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液相等离子体电沉积制备类金刚石薄膜

李巧梅 , 罗北平 , 黄锋 , 许友 , 余红霞 , 武鹄

电镀与涂饰

采用等离子体电沉积法在水-乙醇电解液中制备了类金刚石(DLC)薄膜,工艺条件为:乙醇和水的体积比4∶1,KCl3 g/L,电流密度500 ～ 800mA/cm2,电压1 500V,时间4h.研究了电流密度和电极间距对DLC薄膜的显微硬度、厚度和表面形貌的影响.结果表明,电流密度和电极间距都对电极表面气泡区域厚度、均匀程度、稳定性及电极表面电荷密度有较大影响,适宜的电流密度和电极间距分别为600～700mA/cm2和6～10mm.采用较佳工艺制得的DLC膜表面平整均匀,为多晶结构,摩擦因数约为0.13.

关键词: 类金刚石薄膜 , 等离子体电沉积 , 电流密度 , 极间距

液相等离子体电沉积表面处理技术

魏同波 , 田军

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2003.03.034

液相等离子体电沉积技术是一项新兴的表面处理技术,利用此技术可在多种金属及合金表面得到耐磨、耐蚀、耐热冲击、绝缘的优质膜.本文分别从等离子体氧化和等离子体渗透两个方面介绍了该技术的工艺机理、制备及影响因素、膜层性能,并展望了其应用前景.

关键词: 等离子体电沉积 , 等离子体氧化 , 等离子体渗透 , 火花放电 , 表面改性

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