汲大朋
,
刘贵昌
,
王华
电镀与涂饰
doi:10.3969/j.issn.1004-227X.2007.07.003
分别以乙醇和甲醇为电解液,采用电化学沉积法,在Si(100)表面得到碳薄膜.通过拉曼光谱和傅立叶变换红外光谱分析,证实所制备的薄膜具有类金刚石(DLC)结构特征.利用扫描电子显微镜对不同工艺制备的薄膜进行了表面形貌分析,并研究了样品在0.5 mol/L H2SO4溶液中的电化学交流阻抗谱.结果表明,与在乙醇体系中制得的DLC膜相比,在甲醇体系中制得的DLC膜具有更好的表面形貌和更好的抗腐蚀能力.
关键词:
类金刚石膜
,
甲醇
,
乙醇
,
电沉积
,
拉曼光谱
,
傅立叶变换红外光谱
,
扫描电镜
,
电化学阻抗谱
张林
,
林国强
,
马国佳
,
魏科科
,
段仲伟
稀有金属材料与工程
采用MEVVA离子源复合磁控溅射沉积系统,在钛合金Ti6Al4V基体上制备Ti掺杂DLC薄膜,研究Ti掺杂对DLC薄膜疏水性能的影响.通过X射线能谱仪(EDS)、X射线光电子谱(XPS)、原子力显微镜(AFM)分别对薄膜的组分、化学键以及表面形貌进行分析;通过测量静态接触角分析薄膜的润湿性并计算薄膜的表面能.结果表明:Ti掺杂DLC膜明显提高疏水性能,水接触角最高达到105°.薄膜中sp2C杂化键组分增加以及表面形成Ti-O键,是导致薄膜表面能降低的重要因素.
关键词:
类金刚石膜
,
掺杂
,
接触角
,
表面能
胡芳
,
代明江
,
林松盛
,
李福球
,
崔晓龙
,
鲍贤勇
电镀与涂饰
为解决手表外观件镀层的附着力和硬度不高而产生的膜层脱落和磨损露底等问题,采用阳极层流型气体离子源结合非平衡磁控溅射技术制备了类金刚石膜层,研究了镀前清洗工艺对膜层附着力和耐磨性能的影响.结果表明,所制备的类金刚石膜均匀亮黑,显微硬度为2 232 HV,摩擦系数为0.15.在同一镀膜工艺条件下,手表外观件经彻底清洗后,其膜/基结合力最高(达58 N),抗振动磨损性能最佳(达8h以上),具有良好的机械综合性能.
关键词:
手表外现件
,
类金刚石膜
,
非平衡磁控溅射
,
清洗预处理
,
附着力
,
抗振动磨损性
相炳坤
,
左敦稳
,
黎向锋
功能材料
类金刚石(DLC)膜是由sp3键和sp2键组态的碳混合组成,已广泛应用到电子、光学、机械等领域.采集1975～2007年国内外DLC技术专利,建立专利数据库,从技术和竞争两个方面对其发展脉络和竞争格局进行定量和定性分析,揭示出国内外DLC技术已处于成熟阶段;半导体电子、光电信息、机械加工、耐磨部件以及医疗器材是其重点应用领域;世界上前10位申请人基本上是美国、日本和德国的跨国企业;在申请数量和质量上国外申请人在我国都占很大优势;目前国内DLC市场基本为国外企业垄断;最后提出了一些发展我国DLC技术的专利战略.
关键词:
类金刚石膜
,
专利分析
,
专利数据库
,
竞争
,
专利战略
刘宏华
,
尹云飞
,
王平
材料导报
概述了应用于硬盘磁头表面的类金刚石薄膜(DLC)保护膜的性能要求、微观结构模型、生长机理及制备方法,总结了影响薄膜性能的因素和薄膜的表征方法,分析了当前影响类金刚石薄膜在磁头行业中应用的因素及可能的解决办法,并展望了应用于磁头表面等半导体行业的高性能DLC薄膜的制备前景.
关键词:
磁头
,
类金刚石膜
,
结构模型
,
生长机理
,
表征方法
马峰
,
蔡珣
,
李刚
,
马洪涛
材料科学与工程学报
doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2002.02.014
本文采用非平衡磁控溅射及等离子体源离子混合注入方法在奥氏体不锈钢1Cr18N9Ti基体上制备N/TiN/Ti(N,C)/DLC梯度涂层.采用原子力显微镜(AFM)及喇曼光谱等手段观察分析梯度膜的显微组织与相组成,同时采用了纳米压入技术评定膜层的力学性能.实验结果表明,采用此方法制备的金刚石膜组织致密,性能良好.
关键词:
类金刚石膜
,
喇曼光谱
,
原子力显微镜
,
纳米压力技术
崔琳
,
柳翠
,
齐民
,
李国卿
功能材料
类金刚石膜作为新型的生物材料得到了广泛的关注.本实验制备的薄膜为典型的类金刚石膜,膜层比较致密、均匀和光滑.膜层硬度随离子束能量变化,在束电源为750V附近出现峰值,硬度达到了15GPa,该膜的摩擦系数为0.124.在Troyde's模拟体液中的电化学分析表明,类金刚石膜显著提高了TiNi合金表面抗点蚀能力.
关键词:
TiNi合金
,
类金刚石膜
,
离子束
,
表面改性
,
表面性能
孙建华
,
刘金龙
,
王庆良
,
吴高峰
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2011.02.017
采用等离子体辅助化学气相沉积(PECVD)法,在316L不锈钢基体表面以不同的沉积气压和射频功率制备出类金刚石(DLC)薄膜.拉曼光谱分析结果表明:所沉积的DLC膜具有典型的类金刚石膜结构,薄膜中sp#键含量随工艺参数的不同而不同,射频功率100 W时,sp#键含量随沉积气压增高而降低.接触角测试结果表明:DLC膜沉积后,316L不锈钢表面与生理盐水和去离子水的接触角均变大,润湿性降低.
关键词:
316L不锈钢
,
类金刚石膜
,
拉曼光谱
,
润湿性
吴行阳
,
黄夏婧
,
张建华
表面技术
非晶碳基薄膜在水中具有低摩擦磨损特性和好的耐腐蚀性,但在摩擦过程中容易发生局部剥落,进一步提高薄膜在水中的承载力是目前的热点研究方向之一.在综合分析非晶碳基薄膜的摩擦学性能及其改性,以及采用表面织构化提高材料承载力的基础上,阐述了将两者相结合以改善薄膜整体性能的研究现状和发展前景.
关键词:
水润滑
,
类金刚石膜
,
摩擦化学
,
表面织构
王俊玲
,
代海洋
材料保护
制备参数对类金刚石(DLC)薄膜的性能和结构有显著影响.利用中频脉冲非平衡磁控溅射新技术制备了DLC薄膜,采用Raman光谱、X射线光电子能谱仪、纳米压痕仪、光谱型椭偏仪研究了溅射电压对DLC薄膜微观结构、力学性能和光学性能的影响.结果表明:当溅射电压由550 V增加到750 V时,DLC薄膜中sp3杂化碳含量随溅射电压的增加而增加,当溅射电压超过750 V时,薄膜中sp3杂化碳含量随溅射电压的增加而减少;DLC薄膜的纳米硬度、折射率均随溅射电压的增加先增加而后减小,溅射电压为750 V时制备薄膜的纳米硬度及折射率最大.
关键词:
类金刚石膜
,
中频脉冲非平衡磁控溅射
,
溅射电压
,
膜结构
,
膜性能
