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离子源功率对a-C:H(Al)薄膜结构及性能的影响

赵凤丽 , 代明江 , 林松盛 , 许伟 , 侯慧君

表面技术 doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2017.06.022

目的 研究离子源功率对a-C:H(Al)薄膜结构及性能的影响.方法 采用阳极离子源离化CH4气体,中频磁控溅射Al靶,通过改变离子源功率,在n(100)型单晶硅及16MnCr5钢基体上沉积a-C:H(Al)薄膜.利用扫描电镜、维氏显微硬度计、摩擦磨损试验机和表面轮廓仪等设备对a-C:H(Al)薄膜的结构及性能进行表征.结果 薄膜的硬度均在1000HV以上.摩擦系数较低,为0.05~0.15.离子源功率为450 W时,薄膜摩擦系数和结合力均出现了最优值,分别为0.05和21.46 N.离子源功率在550 W时,磨损率达到最低值,为3.59×10?7 mm3/(N·m).结论 离子源功率较低时,薄膜表面较疏松,随着离子源功率的增加,薄膜逐渐趋于平整致密.随离子源功率的增加,薄膜的硬度增大,薄膜的结合力先增大后减小,而薄膜的摩擦系数先减小后增大,磨损宽度减小,磨损深度降低,磨损率减小.

关键词: 类金刚石薄膜 , a-C , H(Al)薄膜 , 中频磁控溅射 , 离子源功率 , 结合强度 , 摩擦学力学性能

DLC表面特异性吸附血浆蛋白的机理研究

李伯刚 , 殷杰 , 那娟娟 , 尹光福

稀有金属材料与工程

为探讨类金刚石薄膜(DLC)与金刚石薄膜(DF)、石墨具有不同血浆蛋白吸附特性的内在原因,进行了人血白蛋白(HSA)和纤维蛋白原(HFG)在3种碳素材料表面吸附前后的红外光谱分析.结果显示:通过-NH基,在DLC与HAS之间及DF、石墨与HFG之间有氢键形成.有力支持并合理解释了DLC具有较高的HSA吸附活性、DF和石墨则优先吸附HFG的前期研究结论.

关键词: 类金刚石薄膜 , 血液相容性 , 蛋白吸附 , 氢键

超硬超厚类金刚石薄膜合成研究

张文英 , 黄楠 , 孙鸿 , 冷永祥 , 杨文茂 , 陈俊英

功能材料

采用过滤真空阴极直流弧源(FilteredCathodic Vicuum Arc Deposition,FCVA)方法沉积超硬(>6000HV)超厚(微米级)的DLC/DLC多层薄膜.通过显微硬度、内应力测量、XPS等方法表明,该薄膜显著优于普通单层薄膜.

关键词: DLC , 类金刚石薄膜 , FCVA , 超硬超厚

类金刚石薄膜的紫外辐照研究

刘贵昂 , 谢二庆 , 王天民

功能材料

对射频等离子体方法制备的类金刚石(以下简称DLC)薄膜样品进行了紫外辐照.采用电阻率、Raman光谱及红外光谱研究了紫外光(以下简称UV)辐照对DLC薄膜结构与特性的影响.Raman光谱表明:紫外光对DLC薄膜中SPC-H键的破坏作用非常明显,红外(IR)光谱结果进一步验证了这一结果.经UV辐照后,DLC薄膜的电阻率呈变小趋势,这说明薄膜被强烈氧化,最后呈现石墨化趋势.

关键词: 类金刚石薄膜 , 紫外光辐照 , Raman光谱 , 红外光谱 , 石墨化

超高分子量聚乙烯表面金属化及类金刚石薄膜沉积复合处理研究

裴亚楠 , 谢东 , 郐睍 , 孙鸿 , 冷永祥 , 黄楠

功能材料

采用超高分子量聚乙烯(UHMWPE)表面金属化及类金刚石薄膜沉积复合处理工艺,提高超高分子量聚乙烯的耐磨性.首先采用磁过滤阴极真空弧源沉积技术(FCVA)在UHMWPE表面制备约30nm钛金属层,使UHMWPE表面金属化,然后再沉积DLC薄膜,研究结果表明,UHMWPE表面金属化后,DLC薄膜沉积过程中,电荷累积效应消除,使DLC薄膜的沉积速率、SP3健含童、硬度、耐磨性提高.

关键词: 超高分子量聚乙烯 , 金属化 , 类金刚石薄膜 , 硬度 , 耐磨性

20CrNiMo钢表面空心阴极辉光放电制备类金刚石膜

陈飞 , 陈家庆 , 周海 , 张跃飞

材料热处理学报

在真空炉内以石墨为电极,利用空心阴极辉光放电在20CrNiMo上成功地沉积了类金刚石(Diamond-like carbon,DLC)薄膜.利用激光拉曼(Baman)光谱分析了所制备DLC薄膜的结构;利用原子力显微镜(AFM)分析了DLC薄膜的表面形貌;利用划痕仪测量了DLC薄膜与基体的结合力并用扫描电子显微镜(SEM)观察了划痕形貌;利用球-盘摩擦磨损实验仪对DLC薄膜的耐磨性能进行了研究.结果表明:在本实验工艺条件下沉积的类金刚石薄膜厚度约为0.6μm,薄膜均匀且致密,表面粗糙度Ra为7~8 nm.类金刚石薄膜与基体结合较紧密,临界载荷达到52 N.DLC薄膜具有优良的减摩性,20CrNiMo表面沉积DLC薄膜后摩擦系数为0.15,较20CrNiMo基体的摩擦系数0.50明显减小,耐磨性能得到提高.

关键词: 类金刚石薄膜 , 辉光放电 , 空心阴极 , 摩擦磨损性能

AZ31镁合金表面沉积类金刚石薄膜在Hank's体液中的腐蚀行为

吴楠 , 赵红阳 , 顾婷婷

腐蚀与防护

采用电化学方法测试了镀类金刚石薄膜镁合金试样在模拟体液中的腐蚀行为、极化曲线和开路电位,结果表明,试样在模拟体液中极化行为与AZ31镁合金在模拟体液中相似.采用扫描电镜观测了腐蚀24 h后试样的形貌,采用失重法和集氢气法测试了试样在模拟体液中腐蚀速率和析氢量随时间变化情况,结果表明,镀有类金刚石薄膜的镁合金比AZ31镁合金具有更好的耐蚀性.

关键词: 镁合金 , 类金刚石薄膜 , 人体植入材料 , 腐蚀 , 体液

Si过渡层对梯度影响类金刚石薄膜结合力的影响研究

胡德平 , 刘成龙 , 齐民 , 杨大智 , 李国卿 , 徐军

功能材料

实验利用双放电腔微波-ECR等离子体源设备,采用复合PVD(physical vapor deposition)和PECVD(plasma enhanced chemical vapor deposition)的方法, 先后在NiTi基体上沉积Si和Si/α-C∶H过渡层,然后制备类金刚石薄膜.Raman光谱和透射电镜表明制备的梯度薄膜是典型的类金刚石薄膜,划痕的测试结果表明, Si过渡层沉积时间影响着梯度类金刚石薄膜与NiTi合金基体之间的结合强度,当沉积时间在60min左右时可获得具有最好结合强度的梯度薄膜,而超过或低于这个时间值会导致膜基结合强度降低.

关键词: NiTi合金 , 类金刚石薄膜 , 过渡层 , 结合强度 , 划痕法

液相电沉积类金刚石薄膜的研究进展

江河清 , 张治军 , 徐洮 , 刘维民

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2004.02.002

概括介绍了液相电沉积技术的基本方法及原理,重点从3个方面介绍了电化学方法制备类金刚石薄膜的研究情况,并简要分析了其反应机理,最后对液相电沉积技术的发展前景进行了展望.

关键词: 液相电沉积 , 类金刚石薄膜 , 反应机理 , 进展

电沉析条件对钛合金表面液相沉积类金刚石薄膜的影响

沈风雷 , 闻荻江 , 王红卫

功能材料

在钛合金表面沉积类金刚石膜能改进钛合金的生物相容性,拓展其在人体植入材料中的应用.探讨了用液相电解沉积法在钛合金表面制备类金刚石薄膜的新方法.讨论了不同沉积条件对膜的影响.在1650和1850V时可以得到坚固的棕色膜.沉积36h后,膜厚基本不变.沉积膜的Raman谱图表明,在1650和1850V沉积得到的是类金刚石薄膜,而在2000V时无法得到类金刚石薄膜.对膜的XPS分析表明,其主要成份是碳.XPS谱还表明在1650V时得到的膜可以将钛合金表面完全覆盖,而在1850V时则不能.以SEM分析表明在1650和1850V时得到的膜是由粒径约为400nm的小颗粒组成,而在2000V时得到只是疏松结构.并对类金刚石膜及钛合金的血液相容性进行了比较.

关键词: 类金刚石薄膜 , 电解沉积 , 钛合金 , 血液相容性

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