尹盛
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王敬义
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李战春
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张繁
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沈亮
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赵伯芳
稀有金属材料与工程
介绍了一种用直流氩等离子体对硅粉刻蚀提纯的方法.实验结果表明硅粉纯度可由99.6%提高到99.95%.处理后的硅粉还可进行熔化-固化-粉碎再处理,因此这是一种技术上可行的太阳级硅制备新方法.文中还应用反应室鞘层厚度、硅粉沉降平均速度、考虑高能中性粒子刻蚀作用的刻蚀速率方程等进行理论分析,结果显示,在一定的工艺参数下,刻蚀提纯是有效的,并与实验结果相近.这也为粉体表面刻蚀研究提供了一种新的手段.
关键词:
粉粒表面刻蚀
,
刻蚀提纯
,
太阳级硅
,
直流等离子体
