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LTPS工艺中光刻胶与膜层粘附力的研究

剧永波 , 陈建军 , 张宸铭 , 简月圆 , 熊正平 , 张龙泉 , 赵东升 , 罗少先 , 刘昊 , 孙宏伟 , 白贺鹏

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20173203.0190

本文对影响LTPS工艺中光刻胶和衬底间粘附力的4个因素进行了实验及理论分析.经实验发现:衬底的材质和粗糙度以及光刻胶中分子量的分布是影响光刻胶和衬底粘附力的最重要的两个因素.在改善粘附力方面HMDS对于电负性较强的金属衬底和光刻胶的粘附力有较好的改善效果,对于SiNX、A-Si及P-Si衬底改善效果明显,且无差异,对于ITO没有改善.光刻胶涂布后适当延长烘烤时间也可以有效改善光刻胶和衬底的粘附力.

关键词: 粘附力 , 光刻胶 , , , 氧化铟锡 , 多晶硅 , 非晶硅 , 氮化硅

原子力显微镜探针针尖修饰的研究进展

吴召洪 , 陈建 , 附青山 , 宋亦兰 , 蒋文平

材料导报 doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2014.15.012

介绍了当前几种AFM探针针尖修饰技术,以及它们在高分子材料、生物材料、微观摩擦学、粘附力、纳米级电化学、碳纳米管及纳米加工方面的研究进展.AFM探针针尖修饰的目的主要是:提高扫描图像分辨率,其分辨率可达纳米或亚纳米级别;用力曲线探究特定基团间的相互作用,定量分析端基与端基之间、分子链与分子链之间及端基与分子链之间的相互作用力,避免针尖对生物样品表面的损坏;对分子材料结构进行修饰,特别是在生物细胞、DNA分子链上及分子识别;避免Si或Si3 N4针尖与表面硬度较大的样品直接接触,延长探针针尖的使用寿命.在研究天然橡胶硫化的作用机理时,可以用针尖修饰技术来模拟这个过程,探究天然橡胶分子链与单个硫原子的相互作用方式与作用力.通过电化学接枝聚合把高分子接枝在AFM针尖上,为研究单链的弹性力、引起构象转变的力、相互作用的双分子的分离力及特定的官能团的相互作用提供了许多可能性.分析了影响AFM探针针尖修饰的因素,结合材料领域方面的发展,对针尖修饰技术的发展及应用前景做了分析和预测.

关键词: 原子力显微镜 , 针尖修饰 , 高分辨率 , 化学键 , 微观摩擦力 , 粘附力

微米颗粒与固体表面相互作用的AFM测量

柳冠青 , 李水清 , 姚强

工程热物理学报

基于原子力显微镜(AFM)测量了单个典型电站微米飞灰颗粒(粒径6μm)与石墨表面间的粘附力和静电力相互作用,获得了颗粒的表面能并考查了相对湿度对静电力的影响.在环境气氛下基本检测不到静电作用,而在真空下静电吸引作用显著.静电力主要来自颗粒一表面间的接触荷电,作用特性可以用一个简化的点电荷模型很好地定量描述.

关键词: 微米颗粒 , 粘附力 , 静电力 , 原子力显微镜

N80油套管钢CO2腐蚀产物膜的力学性能

陈长风 , 路民旭 , 赵国仙 , 白真权 , 严密林 , 杨延清

金属学报 doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2003.02.014

N80油套管钢CO2腐蚀产物膜力学性能的测试结果表明,腐蚀产物膜的弹性模量与硬度从内层到外层逐渐降低,弹性模量平均值为110 GPa.疏松的腐蚀产物膜内产生拉应力,应力大小随膜层的厚度增加而增加,腐蚀产物膜在试样表面稳定形成以后,内应力便趋于一个定值,大小约为46 MPa.外层腐蚀产物膜的断裂应力、应变分别为55.6 MPa和5.06×1O-4,小于内层膜断裂应力与应变(197.3-234.4 MPa和1.79×10-3-2.13×10-3).同样,内层膜与基体的粘附力要明显高于外层膜与内层膜.腐蚀产物膜内应力可以导致外层膜破裂.

关键词: N80钢 , CO2腐蚀 , 腐蚀膜力学性能 , 弹性模量 , 内应力 , 粘附力

平行碳纳米管悬空粘附时临界槽口宽度的计算

班书宝 , 陈秋月 , 周庚侠 , 孙天玉 , 顾济华 , 吴东岷

材料导报

根据小形变时的简单梁理论,给出了由碳纳米管悬空部分粘附时的几何形貌来计算平行碳纳米管之间粘附力的理论模型,推导了平行碳纳米管之间粘附力的计算公式以及碳纳米管粘附到沟槽基底时与沟槽基底的粘附力计算公式.由于碳纳米管本身的尺度小,实验上无法直接测量出平行碳纳米管之间的粘附力.本研究给出的计算公式可以由扫描电子显微镜(SEM)下观测到的碳纳米管悬空部分粘附时的几何形貌计算出平行碳纳米管之间的粘附力.根据文献中给出的平行碳纳米管之间粘附力的理论计算结果,估算了不同间距的平行碳纳米管能够粘附在一起所需要的槽口宽度,以及碳纳米管恰好粘附到沟槽基底时不同槽口宽度和深度之间的对应关系.这些结果对制备用于测量平行碳纳米管之间粘附力的悬空结构提供了重要的参考价值.

关键词: 单壁碳纳米管 , 粘附力 , 临界槽口宽度

BSA对生物材料吸附行为的研究

靳栋栋 , 万涛 , 陈晓明

功能材料

以原子力显微镜为主要研究工具,研究了BSA分子对CoCrMo合金和Al2O3陶瓷的吸附行为,测试了BSA吸附膜的厚度及BSA分子对CoCrMo合金和Al2O3陶瓷的吸附力.

关键词: 吸附 , 厚度 , 粘附力

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