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王玉光 , 费允杰 , 冯克安
功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.03.029
用化学气相沉积法生长金刚石膜,在此膜上制作紫外光电探测器,并作了性能测试.该器件是叉指式电极结构,可以减小电极间隙,减少光激发载流子的损失,提高器件的响应灵敏度.表面处理可除去金刚石膜的低电阻表面层,提高器件对紫外光的探测性能.测试表明,用金刚石制作的器件对波长小于225nm的紫外光的响应比可见光高4个量级.
关键词: 紫外光电探测器 , 金刚石薄膜
蔡加法 , 吴正云
量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2014.04.014
介绍了4H-SiC材料用于高温、低电平紫外光电检测的优点,回顾总结了近年来4H-SiC基紫外光电探测器的研究进展,分析了改善4H-SiC基紫外光电探测器性能参数如降低暗电流、提高光电响应度等可采用的各种技术手段,探讨了4H-SiC基紫外光电探测器的发展趋势.
关键词: 光电子学 , 4H-SiC , 紫外光电探测器
