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纯相磷酸铁锂PLD靶材合成和表征

刘洋华 , 闫康平 , 王贵欣 , 罗春晖

稀有金属材料与工程

本研究着眼于确定制备纯相LiFePO4脉冲激光沉积靶材的合成条件.通过TG-DTA实验分析合成过程,XRD检测确定晶相,SEM观察表面形貌.结果表明,采用液相法在800℃、通有氩气(93%)和氢气(7%)的混合气体中焙烧制得纯相的LiFePO4粉末,经压合焙烧获得了纯相、高结晶度、大晶粒的LiFePO4靶材.利用脉冲激光技术沉积LiFePO4薄膜,薄膜结构致密,晶粒粒径达纳米级别.

关键词: TG-DTA , 纯相LiFePO4 , 脉冲激光沉积

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