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纳米SnO2磨料的制备及其在钌化学机械抛光中的应用

储向峰 , 李秀金 , 董永平 , 乔红斌 , 白林山

稀有金属材料与工程

利用固相反应法制备纳米二氧化锡磨料并研究了制备条件对平均粒径的影响.结果表明,在500 ℃/4 h条件下制得的纳米二氧化锡粉体在水中有良好的分散性和稳定性.利用自制的抛光液对高纯钌片进行化学机械抛光,与二氧化硅磨料抛光液比较,材料去除速率和表面粗糙度都降低.当抛光液中含1%(质量分数,下同)二氧化锡、1%过硫酸铵、1%酒石酸和3 mmol/L咪唑,pH=8.0,抛光压力为17.24 kPa时,材料去除速率(MRR)和表面粗糙度(Ra)分别为6.8 nm/min和4.8 nm.

关键词: 纳米二氧化锡 , 磨料 , 化学机械抛光 ,

纳米二氧化锡催化苯硝化合成硝基苯

胡育 , 杨建 , 杨先贵 , 王公应

催化学报

分别以氨水、氢氧化钠和尿素为沉淀剂制备了一系列二氧化锡催化剂.应用X射线衍射、氮吸附、透射电镜和扫描电镜等手段对催化剂进行了表征.考察了催化剂在苯液相硝化制硝基苯反应中的催化活性.研究了催化剂前驱物焙烧温度及不同制备方法对催化剂性能的影响.探讨了催化剂用量、反应温度和反应时间对硝基苯收率的影响.结果表明,用沉淀法可以得到具有较高比表面积的纳米级SnO2颗粒,粒径在10nm左右;使用少量的纳米级SnO2催化剂就能很好地促进苯硝化反应的进行.

关键词: , 硝化 , 硝基苯 , 纳米二氧化锡

氟化钙对高温自蔓延合成法制备纳米二氧化锡的影响

张国栋 , 张晖 , 肖亚东 , 刘念

硅酸盐通报

为研究CaF2对高温自蔓延合成(SHS)法制备纳米二氧化锡的影响,本文进行了6组关于CaF2添加量与SnO2纳米线产量的平行实验以及1组验证实验,并利用X射线衍射分析及扫描电子显微镜对产物进行表征.实验结果表明:(1) CaF2的添加量与产物的产量之间存在指数关系,且在CaF2添加量为1.5%时,产量实现最大化;(2) CaF2的添加能够提高产物的纯度,并且不改变产物原有的一维纳米形貌.

关键词: 高温自蔓延合成 , 纳米二氧化锡 , CaF2 , 指数关系

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