山口佳一
,
征矢野晃雅
,
島基之
影像科学与光化学
光刻技术在半导体器件大规模生产中发挥重要作用.今天,多数先进半导体生产都已经应用ArF准分子激光浸润光刻技术.双重图像曝光和侧壁图像转移技术使ArF准分子激光浸润光刻技术延伸到32纳米半节距(HP)器件的制造成为可能.为了制造更小尺寸的器件,必须开发新的制造工艺.极端紫外线光刻是制造22纳米半节距甚至更小尺寸半导体器件的先进下一代光刻技术解决方案.另外,其他技术解决方案,如纳米压印光刻技术和无掩模直描光刻技术等也被考虑用于制造更小节点尺寸的器件,但是目前这些方案仅仅处在研发阶段,而且在现阶段就已经呈现出在大规模生产中的诸多困难.本文从材料的角度对光刻技术进行一个整体描述,并对光刻技术未来趋势进行讨论.
关键词:
光刻技术
,
纳米器件
,
分辨力增强
,
光刻胶材料
张兰
,
马会中
,
姚宁
,
张兵临
功能材料
白碳和金刚石、石墨这两种常见的碳的晶态结构不同,它是sp1杂化的碳元素的另一种晶态同素异形体.白碳具有一维直线碳链的特殊结构.本文对白碳材料的制备方法、结构特点、表征方法进行了综述,并展望了其在纳米器件、分子器件、以及场致电子发射等方面的应用前景.
关键词:
白碳
,
纳米器件
,
分子器件
,
场致电子发射
段理
,
樊小勇
,
李东林
材料导报
准一维纳米ZnO因在微电子和光电子领域具有广阔前景而受到关注.综述了近年来准一维ZnO纳米材料的主流制备方法及其相关机理,介绍了一维纳米阵列的实现方案,总结了各类准一维ZnO纳米器件的研究进展,探讨了研究现状并展望了未来的研究方向.
关键词:
ZnO
,
准一维
,
纳米材料
,
纳米器件
杨全红
,
刘敏
,
成会明
,
王茂章
材料研究学报
doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2001.04.001
评述了纳米碳管(CNT)的纳米孔隙结构及其决定的特殊物化性质,以及潜在的应用.CNT孔径体系由多层次的孔隙组合而成,开口的一维中空管腔是最基本的孔隙结构,其纳米级的尺度和物理形态决定了它的超常吸附性质和其它物化特性,使CNT成为极具潜力的纳米级能量载体;提供了进行一维物理化学过程的极限反应空间,是真正意义上的纳米反应器;CNT的比表面积和孔径结构及其决定的吸附性质还决定或者影响着许多其它物化性质(如电磁性质).发展纳米碳管中的物理化学研究,制备基于大表面积、可控孔结构CNT的纳米器件,是CNT领域的重要研究方向.
关键词:
纳米碳管
,
孔隙结构
,
物化性质
,
纳米器件
张立德
,
张玉刚
功能材料
详细综述了一维纳米材料中的新效应和新功能研究的新进展,包括光开关效应、线栅偏振效应、场发射效应、热电效应、压电效应、储氢效应、敏感效应,分析了这些纳米材料效应产生的原理以及与纳米材料的关系,指出了一维纳米材料中新效应和新功能是设计下一代纳米器件的基础.文章中还简要的介绍了纳米器件研究的新进展.
关键词:
一维纳米材料
,
纳米效应
,
纳米器件
王守绪
,
何为
,
孙睿
材料导报
纳米器件包括纳米电子器件和纳米光电器件,是未来新型仪器、设备生产与制造的基础.因此,它们的设计、制造方法和技术受到了人们的广泛关注.介绍了用图形化技术实现纳米器件设计与制造的应用研究进展.
关键词:
表面图形化
,
纳米器件
,
纳米技术
杨全红
,
刘敏
,
成会明
,
王茂章
材料研究学报
评述了纳米碳管（CNT）的纳米孔隙结构及其决定的特殊物化性质，以及潜在的应用。CNT孔径体系由多层次的孔隙组合而成，开口的一维中空管腔是最基本的孔隙结构，其纳米级的尺度和物理形态决定了它的超常吸附性质和其它物化特性，使CNT成为极具潜力的纳米级能量载体；提供了进行一维物理化学过程的极限反应空间，是真正意义上的纳米反应器；CNT的比表面积和孔径结构及其决定的吸附性质还决定或者影响着许多其它物化性质（如：电磁性质）。发展纳米碳管中的物理化学研究，制备基于大表面积、可控孔结构CNT的纳米器件，是CNT领域的重要研究方向。
关键词:
纳米碳管
,
null
,
null
,
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