王娟
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张长瑞
,
冯坚
功能材料
对纳米多孔低介电常数薄膜孔洞率、孔径、孔径分布和孔洞连通性等孔结构的表征有助于理解薄膜的结构和提高其性能.近年来开展了利用与特殊X射线反射联用的小角中子散射、小角X射线散射、椭偏测孔仪、正电子湮没谱和表面声波谱等非破坏性方法表征多孔低介电常数薄膜孔结构的研究.介绍了这些方法的基本原理,综述了利用这些方法研究低介电常数介质薄膜及其集成工艺的进展,总结了这些方法表征多孔薄膜孔结构的特征.
关键词:
纳米多孔薄膜
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低介电常数介质薄膜
,
小角中子散射
,
椭偏测孔仪
,
正电子(素)湮没寿命谱
杨大祥
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冯坚
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周新贵
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张长瑞
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王娟
功能材料
以正硅酸乙酯、异丙醇、去离子水为原料,盐酸、氨水为催化剂,采用溶胶-凝胶、旋转涂胶、老化及超临界流体干燥工艺制备纳米多孔氧化硅薄膜.研究了溶胶-凝胶工艺的影响因素,考察了溶胶粘度和匀胶转速对成膜性能的影响,采用扫描电镜表征了薄膜的表面形貌和截面结构,用椭偏仪表征了薄膜的孔隙率、介电常数以及厚度等性能参数,分析了薄膜的结构和红外特性.
关键词:
纳米多孔薄膜
,
溶胶-凝胶
,
旋转涂胶
,
超临界流体干燥
李菲晖
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陆飞
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丁孝飞
,
康瀚月
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刘永林
,
王赫
,
巩运兰
,
唐明义
,
张弘青
电镀与精饰
doi:10.3969/j.issn.1001-3849.2016.06.001
采用二步电压氧化法制备了两组孔径及孔密度不同的TiO2纳米多孔薄膜,利用电化学测试方法对制备出的TiO2纳米多孔薄膜的开路电位-时间曲线、交流阻抗谱图以及计时电流曲线进行了测试,研究了多孔薄膜材料的孔径及孔密度对材料光电化学性能以及比表面积的影响.结果表明,制备出的具有不同孔径和孔密度的试片在光照情况下的电化学反应电阻均明显下降,相关电化学反应更容易发生;增大薄膜材料的比表面积有利于提高其光电性能,性能最佳的薄膜材料的孔径为103 nm,孔密度为10×108个/cm2.
关键词:
TiO2
,
纳米多孔薄膜
,
阳极氧化
,
孔径
,
孔密度
高芳亮李生英陈宏基吴忠华李志宏
材料研究学报
用旋涂工艺和致孔法制备了一组聚甲基硅氧烷纳米多孔薄膜, 用红外吸收光谱(FT--IR)、热重分析(TGA)对其进行表征, 用同步辐射光源进行小角X射线散射测试, 在掠入射模式(GISAXS)下进行微孔结构分析。结果表明, 聚甲基硅氧烷前驱体与致孔剂具有良好的相容性; 薄膜的小角散射曲线均不遵守Porod定理、形成正偏离；所有纳米多孔薄膜具备孔分形特征; 薄膜基体与孔结构之间存在微电子密度起伏, 且薄膜孔径小于3 nm。
关键词:
有机高分子材料
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poly(methyl)silsesquioxane
,
grazing–incidence small angle x–ray scattering
,
nanoporous thin film, pore structure
,
null
