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Ag-Cu离子注入SiO2玻璃后形成纳米颗粒的研究

肖湘衡 , 蒋昌忠 , 任峰 , 付强

功能材料

Ag、Cu离子经200和110keV加速后分别以5×1016和1.5×1017ions /cm2的剂量在室温下先后注入到非晶SiO2玻璃中.注入后样品的光学吸收谱显示两个吸收峰,其峰位为407和569nm,分别对应单独Ag和单独Cu纳米颗粒的等离子体共振吸收峰,样品在还原-保护气氛下退火后吸收峰峰强明显增加.样品的透射电镜选区电子衍射花样含有Ag、Cu两套衍射环,透射电镜的明场像观察到大量的纳米颗粒呈现出中心亮斑特征.在样品倾转过程中,中心亮斑特征依然存在,证实这种现象是离子辐照产生的纳米空位团簇.扫描透射电子显微镜高角环形暗场像进一步证实了这一点.综上所述,样品中形成了单Ag和单Cu包裹空位团簇的纳米颗粒.

关键词: 离子注入 , 纳米颗粒 , 表面等离子体共振吸收 , 纳米空位团簇

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