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磁控溅射工艺参数对涤纶机织物基纳米金属薄膜抗静电性能的影响

袁小红 , 魏取福 , 陈东生 , 徐文正

材料科学与工程学报

在室温条件下采用磁控溅射技术在涤纶机织物表面沉积金属薄膜,利用扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)观察纳米金属薄膜的表面形貌,通过分别改变磁控溅射工艺参数溅射时间、溅射功率和气体压强,研究其对试样抗静电性能的影响.实验结果表明,溅射时间和溅射功率对镀金属薄膜试样的抗静电性能均影响较大,而气体压强影响相对较小.溅射时间40min、溅射功率120W、气体压强1.6Pa工艺条件下,镀Cu膜试样的抗静电性能最好;溅射时间40min、溅射功率120W、气体压强1Pa或1.6Pa工艺条件下,镀Ag膜试样的抗静电性能最好,而且镀Ag比镀Cu薄膜试样的抗静电性能更优异.

关键词: 磁控溅射 , 涤纶机织物 , 纳米金属薄膜 , 抗静电性能

飞秒激光热反射实验系统测量金属薄膜中的超快速热传递过程

王海东 , 马维刚 , 过增元 , 张兴 , 王玮

工程热物理学报

飞秒激光热反射技术已经成为研究不同材料中超快速热传导过程的有效实验方法.实验中采用前表面加热、后表面探测的方法对不同厚度的Au薄膜进行了测量,通过比较表面电子温度可以得到超快速激光加热条件下Au薄膜材料中电子温度振荡的传递速度.结果表明瞬态条件下非平衡态电子是热量的主要载体,根据实验测量值拟合得到的能量传递速度接近于非平衡态电子气热扩散模型中的温度振荡传播速度.瞬态条件下电子气中热量传递规律的深入研究有利于高集成度微电子器件的热优化设计和飞秒激光精密加工技术的发展.

关键词: 飞秒激光热反射实验系统 , 纳米金属薄膜 , 双温度模型 , 非平衡热传导

利用有效媒质理论对纳米金属薄膜介电函数的初步分析

杜昊 , 肖金泉

金属学报

利用有效媒质理论描述了纳米金属薄膜形成过程中介电函数的变化规律. 与实验获得的纳米Al和Ti薄膜形成过程中的介电函数变化结果相接近.

关键词: 纳米金属薄膜 , null

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