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多晶硅薄膜结晶团晶化机理的研究

靳瑞敏 , 蔡志端 , 苍利民 , 阎韬 , 徐建军 , 栗书增

人工晶体学报

本文用PECVD法在石英玻璃上沉积非晶硅薄膜,然后用快速光退火和传统电阻炉退火方法晶化生长多晶硅薄膜,用拉曼光谱仪、XRD和场发射扫描电镜观察分析薄膜,发现在制备的多晶硅薄膜表面存在结晶团现象,并对这一现象的晶化机理进行了分析.

关键词: 非晶硅薄膜 , 二次晶化 , 多晶硅薄膜 , 结晶团现象 , 晶化机理