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纳米ZrO2缓冲膜的性能研究

于云 , 王晓萍 , 胡行方

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.02.009

用溶胶-凝胶技术,在金膜与基体不锈钢箔之间制备了一层ZrO2缓冲膜.在前期研究工作的基础上,通过TEM、AES、SEM等测试手段对ZrO2缓冲膜的结构及性能进行了表征.结果表明,溶胶-凝胶法制备的ZrO2缓冲膜的粒度尺寸为纳米级;850℃热处理后,没有涂覆缓冲膜的蒸金不锈钢箔与金膜之间存在着严重的互扩散反应,缓冲膜的涂覆可以有效地抑制高温互扩散反应.带有缓冲膜的蒸金不锈钢箔在高温热处理后仍能保持清晰的Au/ZrO2/SS"三明治"结构及较为光滑平整的富金表面形貌.

关键词: 纳米ZrO2 , 缓冲膜 , 溶胶-凝胶 , 高温互扩散反应

溶胶-凝胶法制备ZrO2缓冲膜的研究

于云 , 王晓萍 , 胡行方

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2000.03.035

本文用溶胶-凝胶技术,以无机盐氧氯化锆(ZrOCl2.8H2O)为前驱体,在不锈钢表面上制备了含SiO2相的ZrO2缓冲膜,并用真空蒸镀法在其上沉积一层厚度为150nm的金膜.通过XRD、FTIR、SEM及AES等测试手段对ZrO2缓冲膜的性能及其热处理过程中的物理化学变化进行了表征.结果表明,不锈钢箔基体上的四方ZrO2膜在(200)晶面上有择优取向的特点,缓冲膜与基体之间存在着一定程度的互扩散作用.同时,法向热发射率的测试结果表明,850C热处理后材料仍能保持极低的热发射率(ε=0.043),说明缓冲膜有效地阻挡了金膜与基体之间的高温互扩散作用.

关键词: ZrO2 , 溶胶-凝胶 , 缓冲膜 , 热发射率 , 互扩散

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