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多孔Al2O3陶瓷膜的修饰及其蒸汽分离性能的研究

潘铭 , 孟广耀 ,

膜科学与技术 doi:10.3969/j.issn.1007-8924.2000.01.002

采用原子层控制生长化学气相淀积方法对多孔γ-Al2O3陶瓷膜进行缩孔修饰研究.多孔陶瓷膜表层孔中淀积的Al2O3大大减小了薄膜的孔径.用缩孔修饰后的γ-Al2O3陶瓷膜进行水蒸气分离实验,获得极好的分效果,相对湿度为12%时,水蒸气与氧气的分离系数达到71.

关键词: 多孔陶瓷膜 , γ-Al2O3 , 化学气相淀积 , 缩孔修饰 , 蒸汽分离