蒋勇
,
袁晓东
,
祖小涛
,
向霞
,
徐世珍
,
吕海兵
,
章春来
,
尹伟
,
陈猛
,
王成程
材料导报
介绍了熔石英亚表面缺陷(SSD)的深度分布与粒径的量化关系及表面粗糙度的量化,以及杂质引起热破坏、裂纹导致电场增强、缺陷导致机械性能弱化3种诱导熔石英损伤的机理.还介绍了氢氟酸(HF)刻蚀和激光预处理2种非常有效的控制熔石英亚表面缺陷的技术,并对熔石英亚表面缺陷研究现状、存在问题和发展趋势进行了简要的总结和展望.
关键词:
亚表面缺陷
,
缺陷量化
,
损伤机理
,
HF酸刻蚀
,
激光预处理
