刘世良
,
赵立峰
,
彭冬生
,
谢长生
材料保护
doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2004.06.002
为了获得高速沉积镍膜的工艺参数,以羰基镍[Ni(CO)4]为前驱体,用金属有机物化学气相沉积法进行试验,以SEM,DSC,XRD测试分析技术探讨了载气、温度和羰基镍的摩尔分数对沉积速率的影响;也探讨了温度及羰基镍的摩尔分数对镍膜微观形貌的影响.结果表明,以氩气为载气比氦气为载气更容易获得高沉积速率;在沉积温度为150℃左右可获得沉积速率较快、微观形貌较好的薄膜;随羰基镍摩尔分数的增加,沉积速率也明显增大,同时薄膜的微观形貌也变得较为粗大,但达到30%之后,沉积速率增速减缓.
关键词:
化学气相沉积
,
金属有机物
,
羰基镍
,
镍膜
彭冬生
,
赵立峰
,
刘世良
,
谢长生
材料热处理学报
doi:10.3969/j.issn.1009-6264.2003.01.015
研究了以羰基镍为沉积源,利用MOCVD技术沉积镍薄膜;讨论了沉积温度及压力对沉积速率的影响,以及利用SEM、XRD、DSC等分析手段来探讨沉积温度及不同沉积基体对薄膜微观形态的影响.结果表明,沉积温度约为150℃可以得到较快的沉积速率,而且薄膜连续具有金属光泽;以铜为沉积基体所得到的薄膜其微观形态中有明显的晶粒,以玻璃为基体得到的薄膜却含有部分非晶态的组织;沉积速率随着反应室工作压力的增加而下降.
关键词:
金属有机化学气相沉积(MOCVD)
,
羰基镍
,
薄膜
