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U表面循环Ar+轰击-磁控溅射离子镀Ti研究

鲜晓斌 , 刘柯钊 , 吕学超 , 张永彬

稀有金属材料与工程

用设计的循环Ar+轰击-磁控溅射离子镀法在U表面上镀Ti,并采用扫描电镜(SEM)、X射线光电子能谱仪和湿热加速腐蚀实验,研究了其表面、剖面形貌、镀层的组成与结构、膜基界面特征,以及耐湿热腐蚀性能.结果表明,U上循环Ar+轰击-磁控溅射离子镀Ti层结晶致密、晶粒细化,镀层由表及里分别由TiO2/TiO/Ti构成,镀层厚度≥4μm时、其试样的耐湿热腐蚀性能较之金属U来讲有较大程度的提高.

关键词: Ti镀层 , 循环Ar+轰击 , 耐湿热腐蚀性能 , 组织结构

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