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脉冲激光沉积技术在磁性薄膜制备中的应用

邓联文 , 江建军 , 何华辉

材料导报

脉冲激光沉积制膜(PLD)是近年来迅速发展起来的制膜新技术,首先简要介绍了脉冲激光沉积技术的原理、特点和优势以及在磁性功能薄膜研究中的应用,最后说明了该技术的最新发展趋势.

关键词: 脉冲激光制膜 , 磁性薄膜 , 外延生长 , 超晶格