张鹏展
,
沈明荣
,
徐俞
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.06.014
选取极薄Ti02作为过渡层,采用脉冲激光沉积法分别在Si(100)和Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)基底上制备了Bao.6Sro.4TiO3(BST)薄膜,研究过渡层对BST薄膜微结构及电学性质的影响.发现厚度20纳米以内的锐钛矿相结晶TiO2过渡层可使BST薄膜由无规则取向转变为(111)择优取向,而非晶和较厚TiO2过渡层对BST薄膜的取向无影响.结晶的TiO2过渡层也使薄膜的表面颗粒变细.还研究了不同厚度TiO2对BST薄膜电学性质的影响,结果表明BST薄膜在Pt(111)底电极上加入极薄的结晶TiO2过渡层后电学性质有明显改善,薄膜的介电常数和可调谐度提高,而介电损耗降低.加入膜厚约5nm的TiO2过渡层后,测试频率为10 kHz时薄膜相应介电常数、介电损耗及可调谐度分别为513、0.053和36.7%.
关键词:
脉冲激光沉积法
,
BST薄膜
,
TiO2过渡层
,
微结构
,
介电性质
孙小庆
,
魏峰
,
杨志民
,
陈秋云
,
陈军
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2013.03.009
在高真空条件下,采用脉冲激光沉积法在Si(111)衬底上制备了高度(111)取向的CeO2薄膜.使用反射高能电子衍射仪对薄膜制备过程进行了原位监测,衍射花样为清晰条纹状,显示薄膜结晶质量较好,表面平整光滑.采用X射线衍射仪对不同衬底温度、不同激光能量制备的薄膜进行了结构表征,随着温度升高和能量增强,CeO2薄膜(111)峰逐渐增强且峰位越来越靠近标准峰位,表明CeO2薄膜的取向性变好且薄膜应力逐渐下降.通过椭偏仪对薄膜的折射率进行了表征,结果表明薄膜的光学性能强烈依赖其结晶质量,结晶质量最好的样品折射率接近单晶薄膜.使用高分辨透射电镜表征了样品的横断面,照片显示薄膜内部原子排列有序,结晶质量较好,部分区域与衬底取向略有偏差.
关键词:
氧化铈
,
脉冲激光沉积法
,
结构特征
,
表面形貌
,
折射率
何邕
,
李效民
,
高相东
,
冷雪
,
王炜
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2011.11299
采用氧等离子体辅助脉冲激光沉积方法(PLD)在硅衬底上, 制备出高度(001)取向的钙钛矿相结构钛铌镁酸铅(PMN-PT)薄膜. 研究了氧等离子体辅助对PMN-PT薄膜相结构、微观形貌和电学性能的影响. 结果表明, 通过在薄膜沉积过程中引入高活性的氧等离子, 可以有效地提高PMN-PT薄膜的结晶质量和微观结构. 未采用氧等离子体辅助PLD方法制备PMN-PT薄膜的介电常数(10 kHz)和剩余极化(2Pr)分别为1484和18 μC/cm2, 通过采用氧等离子体辅助, 其介电常数和剩余极化分别提高至3012和38 μC/cm2.
关键词:
脉冲激光沉积法
,
PMN-PT thin films
,
microstructure
,
electrical properties
朱超
,
官文超
,
龙华
,
曹远美
功能材料
用准分子脉冲激光沉积法(PLD)制备了一系列的锌、铁、钛、银、铝、硅、铜等的氧化物单层和多层薄膜,用AFM研究了薄膜的组成和结构;经紫外和红外光谱发现:抗紫外性能最好的是氧化锌,在190～380nm区间,其吸收率可达90%以上.抗近红外性能最好的是氧化银薄膜,其次依次是氧化铁、氧化锌、氧化钛、氧化铝、氧化铜;多层薄膜中,含有氧化锌层的抗紫外效果最好;含有氧化银层的抗近红外性能效果最好.如氧化铁/氧化锌/氧化银薄膜,在190～380nm区间,其吸收率接近100%,近红外(780～2500nm)吸收率在70%以上,最高可达90%.在可见光区其透过率在80%左右.
关键词:
脉冲激光沉积法
,
金属氧化物
,
纳米薄膜
,
抗近红外/紫外性能
刘新军
,
李效民
,
王群
,
杨蕊
,
曹逊
,
陈立东
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2010.00151
以Pt/Ti/SiO2/Si为衬底, 制备了具有电阻转变特性的Ti/La0.7Ca0.3MnO3(LCMO)/Pt结构器件. X射线衍射分析表明LCMO薄膜呈纳米晶或非晶态, 扫描电子显微镜及原子力显微镜分析表明LCMO薄膜表面平整、光滑致密. 电学测试结果表明Ti/LCMO/Pt结构具有明显的双极型“负”电阻转变特性, 低电阻态的导电过程为空间电荷限制电流机制, 高电阻态的导电过程为Poole-Frenkel发射机制. 利用氧化还原反应的随机性和TiOx中间层空间分布的不均匀性, 定性地解释了高电阻态的不稳定性以及电流电压曲线上的电流突变现象.
关键词:
脉冲激光沉积法
,
resistive switching behaviors
,
electric-pulseinduced resistance switching
,
manganite films
张亦文
,
李效民
,
赵俊亮
,
于伟东
,
高相东
,
吴峰
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2008.00531
采用脉冲激光沉积(PLD)方法在MgO/TiN/Si(100)衬底上, 生长不同In掺杂量的SrInxTi{1-xO3(x=0、0.1、0.2)薄膜, 研究In掺杂及本征SrTiO3(STO)缓冲层对薄膜结晶性能、表面形貌、生长模式及紫外拉曼光谱特性的影响. 结果表明, In掺杂导致薄膜结晶度降低, 通过引入本征STO缓冲层可有效提高In掺杂STO薄膜的结晶度, 增强薄膜的(200)择优取向性. 然而随In掺杂量的增加, 薄膜表面平均粗糙度增大; 生长模式由层状生长转变为岛状-层状复合模式; 拉曼一次声子振动模式峰强逐渐增强, 说明薄膜的晶体对称性降低.
关键词:
脉冲激光沉积法
,
SrTiO3 film
,
buffer layer
,
crystallinity
张吉明
,
廖源
,
张五堂
,
余庆选
,
傅竹西
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2008.02.022
采用脉冲激光沉积(PLD)技术,在(110)和(100)织构金刚石膜上成功制备出高度c-轴取向的ZnO薄膜,然后在纯氮气氛条件下对ZnO薄膜进行退火处理.作为比较,也在(100)Si上生长的ZnO薄膜进行了相同的处理.通过测量X射线衍射(XRD)谱和光致发光(PL)谱,研究了不同衬底性质和退火对薄膜结构和发光特性的影响.实验结果表明,在(100)织构金刚石上的ZnO膜具有最好的结晶质量,其半高宽只有0.2°.退火之后近紫外发光峰明显减弱的同时,绿色发光峰得到增强.这里归结为氮气退火后氧空位的增加,这点从退火后的XPS谱中可以得到进一步的确认.
关键词:
材料
,
氧化锌薄膜
,
脉冲激光沉积法
,
金刚石
,
应力
罗乐
,
赵读亮
,
储雅琼
,
汪毅
,
马跃
,
陶汝华
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2012.06.017
为了研究脉冲激光沉积法中衬底温度和距离对类金刚石薄膜的影响,首先温度保持在200℃,靶和衬底间的距离分别取25.0 mm和30.0 mm来沉积类金刚石膜.其次温度保持在400℃,距离分别取25.0 mm和30.0 mm来沉积类金刚石膜.用Raman光谱仪对薄膜的微观结构进行检测,用原子力显微镜对薄膜的表面形貌进行检测.实验结果表明:距离增加或者温度升高都会导致类金刚石薄膜的密度和sp3/sp2的比值减小,薄膜中石墨晶粒的数量增多和体积增大.近距离时温度的变化和低温时距离的变化对薄膜微观结构产生的影响更明显.距离和温度的变化对类金刚石薄膜的表面形貌也产生显著的影响.
关键词:
激光技术
,
脉冲激光沉积法
,
类金刚石薄膜
,
微观结构
,
表面形貌
