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类金刚石薄膜硬度的研究

蔡长龙 , 王季梅 , 杭凌侠 , 严一心 , 徐均琪

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2002.03.003

采用脉冲真空电弧离子源镀制了类金刚石薄膜,研究了影响类金刚石薄膜硬度的各种因素,包括:基片温度、主回路电压、清洗时间、膜层厚度和脉冲频率等,分析了各种镀制参数对薄膜硬度的影响机理,找出了最佳镀制工艺参数.

关键词: 类金刚石薄膜 , 脉冲电弧 , 硬度 , 工艺参数

脉冲电弧沉积类金刚石薄膜特性的研究

刘缠牢 , 梁海锋 , 严一心

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2006.04.012

利用脉冲电弧镀技术在硅基片上沉积类金刚石薄膜,研究薄膜的光谱特性、摩擦磨损特性、硬度、电阻率和稳定性.用椭圆偏振法测试拟合得到薄膜的光学常数,傅立叶变换红外光谱仪测试薄膜的光谱特性;利用摩擦磨损实验仪测量薄膜的耐摩擦性能;利用维氏硬度计表征薄膜的硬度.结果表明薄膜在光谱范围1.25～10μm内透明,光学常数随波长的变化而变化,具有高达40GPa的维氏硬度、高的电阻率、良好的摩擦学特性和化学稳定性等.

关键词: 类金刚石薄膜 , 脉冲电弧 , 光学特性 , 机械特性

钛镍合金上制备类金刚石薄膜的性能研究

吴玲玲 , 梁海峰 , 蔡长龙 , 徐均琪 , 杭凌侠 , 严一心

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2005.02.011

Ti-Ni形状记忆合金是目前唯一用作生物医学材料的形状记忆合金.它的主要缺点是不具有生物活性,会对机体造成不利影响.DLC膜以其优异的生物相容性、抗腐蚀性及化学稳定性倍受关注.利用脉冲真空电弧离子镀技术镀制DLC膜改善Ti-Ni合金的表面性能.对DLC膜的表面形貌、显微硬度、摩擦系数、耐磨性能及耐腐蚀性能进行了测试.结果表明:用脉冲真空电弧离子镀技术制备的DLC膜膜层表面形貌较好、硬度高、摩擦系数小、耐磨及耐腐蚀性能良好.

关键词: Ti-Ni合金 , 类金刚石薄膜 , 脉冲电弧

脉冲真空电弧离子镀沉积速率的研究

蔡长龙 , 王季梅 , 弥谦 , 杭凌侠 , 严一心 , 徐均琪

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2002.06.009

薄膜沉积速率是影响薄膜性能的重要参数,研究它对于沉积优良的类金刚石薄膜具有重要的作用.针对脉冲真空电弧离子镀的具体工艺参数,研究了各种工艺参数对类金刚石薄膜沉积速率的影响,找出了影响类金刚石薄膜沉积速率的主要参数,得到了各种工艺参数下类金刚石薄膜沉积速率的曲线.

关键词: 脉冲电弧 , 沉积速率 , 类金刚石薄膜

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