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湿法刻蚀机腔室关键结构及主要工艺参数对刻蚀性能的影响因素研究

杨为 , 向东 , 杜飞 , 王伟 , 田浩

人工晶体学报

以某18英寸湿法刻蚀机腔室为研究对象,建立了流-热耦合的数值分析模型,研究了刻蚀过程中工艺气体在圆筒式腔室内流速、压强、温度的分布规律,结合HF酸在乙醇环境下刻蚀SiO2的工艺原理,提出了由耗散系数、物质转换系数、物质量通量、品格结构等表征的刻蚀速率及刻蚀不均匀性评价方法,得到了腔室关键结构及主要工艺的参数对刻蚀性能的影响规律.

关键词: 刻蚀机 , 腔室结构 , 流-热耦合模型 , 刻蚀均匀性 , 刻蚀速率