欢迎登录材料期刊网
邱焕勇
物理测试
介绍了一种用于测量薄膜样品和高压样品比热的一种芯片式量热计,该器件由美国加州大学伯克利分校的Frances Hellman研究组于15年前最先开发研制并投入使用,但其应用在中国尚未见报道.希望此文能为国内相关领域的研究人员起到抛砖引玉的作用.
关键词: 芯片式量热计 , 热弛豫 , 微加工
介绍了一种用于测量薄膜样品和高压样品比热的一种芯片式量热计，该器件由美国加州大学伯克利分校的Frances Hellman研究组于15年前最先开发研制并投入使用，但其应用在中国尚未见报道。希望此文能为国内相关领域的研究人员起到抛砖引玉的作用。
关键词: 芯片式量热计 , thermal relaxation , micromachining
