李春光
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王飞
,
安涛
,
王东新
中国材料进展
doi:10.7502/j.issn.1674-3962.2013.12.07
近年来，国内外一些研究者对添加剂元素与铝元素共掺杂的 ZnO 薄膜开展了许多研究并发现在 AZO薄膜掺入添加剂元素不仅会增强AZO薄膜的光电特性，而且还能优化其晶体结构和表面形貌，某些添加剂元素还可以提高AZO薄膜的多项性能和稳定性，这对研究 AZO 薄膜性能的提高提供了一个更具潜力的研究方向。介绍了 AZO 薄膜的基本结构、基本特性以及光电性能原理。对添加剂元素对 AZO薄膜结构的研究和光电性能的研究进行了归纳和总结，并且与 AZO 薄膜进行了对比。综述了添加剂元素掺入的AZO薄膜目前所采用的磁控溅射法、溶胶-凝胶法和脉冲激光法三种主要制备技术以及其优缺点，同时阐述了不同方法掺入添加剂元素的 AZO 薄膜的研究进展。最后介绍了添加剂元素掺入的AZO薄膜在光电领域的应用，展望了其未来发展与研究趋势。
关键词:
AZO薄膜
,
添加剂元素
,
光电性能
,
薄膜性能
周艺
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欧衍聪
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郭长春
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肖斌
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何文红
,
胡旭尧
材料科学与工程学报
采用PECVD法在多晶硅基底上沉积双层SiN；薄膜，研究了工艺参数对其膜厚、折射率、沉积速率、HF腐蚀速率及光电性能等的影响，并提出了优化的SiNx减反膜PECVD制备工艺。研究发现：衬底温度、射频频率、射频功率、腔室压力对SiNx薄膜性能均有重要影响，且优化工艺后的双层SiNx薄膜能有效提高多晶硅太阳电池光电性能。
关键词:
双层SiNx
,
减反膜
,
工艺参数
,
薄膜性能
冉春华
,
金义栋
,
祝闻
,
聂朝胤
材料导报
产生薄膜应力是在沉积薄膜过程中普遍存在的现象.薄膜应力的存在将影响薄膜的微观结构和性能,如薄膜的光学、力学等物理性能.同时影响到薄膜与基体材料的结合度以及基体材料的基本性能.主要总结了薄膜应力的产生机理、测试方法及其对薄膜结构和性能的影响,同时对薄膜应力的有效控制提出了展望.
关键词:
薄膜应力
,
薄膜结构
,
薄膜性能
