赵新
,
王凯
,
卢桂章
,
谭宜勇
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2006.04.015
虚拟运行是MEMS器件运行规律的图形化展示,虚拟运行的基础是器件动态模型.首先分析了微泵的静态模型.以有限元分析数据为起点,获得了膜片静态模型.随后给出了阀片的静态模型,得到变形解析表达式且只包含压力变化量.然后以静态模型为基础,从分析微泵运行机制入手,从并不充分的实验数据中得到微泵的动态运行规律.最后基于上述动态模型实现了微泵的虚拟运行,对照实测实验结果,它具有较高的精度.在虚拟环境中可以在线看到虚拟运行状态的相应变化,最终达到了在设计参数和器件运行之间建立直接联系的目标.
关键词:
MEMS
,
微泵
,
动态模型
,
有限元计算
,
曲线拟合
,
参数辨识
,
虚拟运行
