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表面热处理对氮化硼薄膜场发射特性的影响

李卫青 , 顾广瑞 , 李英爱 , 何志 , 冯伟 , 刘丽华 , 赵春红 , 赵永年

功能材料

用RF磁控溅射的方法在最佳沉积条件下在Si(100)基底上沉积了纳米氮化硼薄膜,然后对薄膜在真空度低于5×10-4Pa、温度分别为800℃和1000℃条件下进行了表面热处理,分别用红外光谱、原子力显微镜以及不同退火温度的场发射试验对薄膜进行了研究,结果表明表面热处理对BN薄膜的表面形貌没有明显影响,样品场发射特性的变化可能与表面负电子亲和势有关,未进行热处理的样品阈值电场较低,可能归因于表面负电子亲和势效应,阈值电场为8V/μm,发射电流为80μA,热处理温度为800℃时,负电子亲和势仍然存在,直到热处理温度达到1000℃时,表面负电子亲和势才消失.

关键词: 氮化硼薄膜 , 表面热处理 , 场发射 , 发射电流 , 阈值电场

激光退火对Inconel 718微观组织和硬度的影响

刘六法 , 卢晨 , 翟春泉 , 丁文江 ,

稀有金属材料与工程

研究激光退火对Inconel 718时效合金的显微组织和硬度的影响.一台2.5 kW的CO2激光机被用来照射试样的表面.在激光能作用下,试样表面层被加热后空冷.通过控制激光工艺参数,在表面不发生熔化的前提下,能够使一定厚度表面层内的硬度降低到标准退火合金的水平,而不影响试样内部母材的硬度.显微组织观察显示表面层的基体强化相(γ"和γ')在激光照射过程中被固溶,而其它二次相没有变化.γ"和γ'的固溶被确定是表面层硬度下降的原因.在其它试验条件不变时,确立了退火层生成时由激光散焦距离和扫描速度描述的工艺参数范围.

关键词: 激光退火 , Inconel 718 , 激光 , 镍基合金 , 表面热处理

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