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魏俊红 , 林璇英 , 赵韦人 , 池凌飞 , 余云鹏 , 林揆训 , 黄锐 , 王照奎 , 余楚迎
功能材料
采用加热的调谐单探针技术,研究了射频辉光放电Ar等离子体空间电子能量分布函数,电子平均能量和电子密度,并系统分析了等离子体增强化学气相沉积工艺参量对等离子体空间电子特性的影响.
关键词: 调谐单探针 , 等离子体化学气相沉积 , Ar等离子体
