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SnO2膜导电玻璃性能的研究

朱月秀 , 王德苗

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2002.01.021

采用喷镀法制备SnO2膜导电玻璃,研究了膜厚、基底温度对薄膜电阻和透光率的影响.用SEM、XPS和XRD分析了SnO2膜的形貌与导电性能,并研究了其透光性、反射性及热稳定性.结果表明:SnO2膜是多晶结构氧空位导电的N型半导体,在可见光范围内透光率达88%以上并具有较好的热稳定性.

关键词: SnO2膜 , 谱图分析 , 透光率 , 热稳定性