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基体表面粗糙度对磁控溅射TiN涂层界面结合力的影响

韦习成 , 李健 , 袁成清

机械工程材料 doi:10.3969/j.issn.1000-3738.2001.01.012

利用球与平面的赫兹接触应力分布的经验修正公式［1 ］，对磁控溅处理前的基体表面粗糙度对沉积层和基体的界面结合力进行了研究，并和其 他涂层界面结合力的测量方法进行了比较。结果表明：基体表面粗糙度对界面结合力有很大 影响，表面粗糙度的改善有利于TiN层/基体的界面结合力的提高，同时改善了TiN层的摩擦 学性能。

关键词: 表面粗糙度 , 界面结合力 , TiN , 赫兹接触