牛建钢
,
丁振君
,
高巍
,
谢飞
,
田晓
材料导报
通过第一性原理计算方法计算了三元固溶体fce-Nb1-xSixN的总能,在此基础上计算了其分离能和调幅分解线.结果表明,fcc-Nb1-xSixN是亚稳相,能经调幅分解机制分解为fcc-NbN和fcc-SiN.组元相形成的应变能小于分离能,不会抑制fcc-Nb1-xSixN的共格调幅分解.fcc-Nb1-xSixN的Si含量为渗透阈值时不会发生调幅分解.fcc-SiN可能较快转变为β-Si3N4,从而抑制fcc-Nb1-xSixN的共格调幅分解.
关键词:
超硬薄膜
,
氮化物
,
调幅分解
,
第一性原理
殷聪朋
,
管伟明
,
张俊敏
,
刘洪江
,
陈勇
,
张昆华
贵金属
采用射频磁控溅射技术制备了Ru-B薄膜，利用掠入射X射线衍射(GIXRD)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)、原子力显微镜(AFM)等分析技术对薄膜的相结构、沉积速率以及表面形貌进行了研究分析。结果表明：在室温下制备的 Ru-B 薄膜均为非晶态。薄膜的沉积速率不随溅射时间变化，但随溅射功率的增加而增大。薄膜表面光滑致密质量良好，随着溅射时间的延长，薄膜表面晶粒大小和粗糙度增大。溅射功率影响着基片表面粒子的形核长大和迁移扩散速率，进而影响薄膜的表面形貌。
关键词:
金属材料
,
超硬薄膜
,
磁控溅射
,
Ru-B薄膜
,
表面形貌
彭志坚
,
苗赫濯
,
刘亮
,
齐龙浩
,
司文捷
,
李文治
材料科学与工程学报
doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2003.05.034
回顾了多组分硬质薄膜的发展,指出了多组分薄膜低温淀积时相组成研究与预测存在的问题.对多组分硬质薄膜,包括类质同晶体系与多组分共熔体,低共熔体系、转熔体系、亚稳定固熔体与非晶固熔体,化合物,梯度薄膜,多相薄膜材料,多层薄膜和超晶格薄膜等可能的相组成与相关性质进行了讨论.对淀积速率与薄膜厚度,相组成与薄膜均质性,超晶格薄膜硬度与超晶格周期等的计算模型进行了评述.
关键词:
多组分薄膜
,
超硬薄膜
,
相组成
张永平
,
顾有松
,
常香荣
,
田中卓
,
时东霞
,
张秀芳
,
袁磊
功能材料
本文采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法,用高纯氮气(99.999%)和甲烷(99.9%)作反应气体,在单晶硅和多晶铂基片上沉积βC3N4薄膜.X射线能谱(EDX)分析了这种晶态C-N膜的化学成分,对不同样品的分析结果表明,N/C原子比在1.1～2.0范围内.X射线衍射结构分析结果与计导的α-和β-C3N4单相X射线的峰位和强度相比较,说明它是α-和β-C3N4的混合物.FT一IR和Raman谱支持C-N共价键的存在.薄膜的体弹性模量达到349GPa.
关键词:
β-C3N4
,
超硬薄膜
,
磁波等离子体化学气相沉积
郑凤新
表面技术
超硬薄膜能够显著提高材料的关键服役性能.系统总结了超硬薄膜的硬化机制、制备技术以及性能表征方法,分析了制备技术和性能表征方法的优缺点,指出了超硬薄膜研究发展的方向.
关键词:
超硬薄膜
,
制备技术
,
性能表征
