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汪广进 , 余意 , 程凤 , 梁聪 , 徐甜 , 潘牧
材料导报
综述了近10年来过渡金属氮氧化物的制备方法,主要包括溅射法(磁控溅射法和等离子体溅射法)、化学气相沉积法(等离子体增强化学气相沉积法、低压化学气相沉积法和催化化学气相沉积法)和化学合成法(氨解法、原位热解法和氮化物氧化法)三大类,并总结了常用的溅射法和化学气相沉积法合成技术参数.
关键词: 过渡金属氮氧化物 , 溅射法 , 化学气相沉积法 , 化学合成法
