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连续离子层吸附反应法制备超薄功能膜及应用

石亚平 , 高燕 , 孙承月 , 吴宜勇

宇航材料工艺 doi:10.3969/j.issn.1007-2330.2010.04.002

阐述了液相法中制备超薄功能膜的新方法--连续离子层吸附反应法(Successive Ionic Layer Adsorption and Reaction, SILAR).探究了它的薄膜生长机理、工艺参数影响以及应用现状,指出了尚需深入研究的问题.

关键词: 连续离子层吸附反应法 , 超薄 , 功能膜 , 工艺参数

连续离子层吸附反应(SILAR)法制备AgGaS2纳米薄膜及性能表征

黄毅 , 张建军 , 尔古打机

人工晶体学报

采用连续离子层吸附反应(SILAR)法,通过500℃退火在玻璃衬底上制备出AgGaS2纳米薄膜.使用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、X射线能谱(EDS)、紫外可见(UV-Vis)谱和光致发光(PL)谱等对纳米薄膜的物相、形貌、化学配比和光学性能进行了定性和定量表征.XRD测试结果表明,实验获得产物为黄铜矿结构AgGaS2,并观测到(112)面和(224)面.使用Scherrer公式估算了AgGaS2产物的晶粒平均粒度大小约为30 nm.SEM观测到的AgGaS2纳米薄膜外形均匀一致,沉积紧密,薄膜沉积的纳米平均颗粒直径约为18~ 26 nm.EDS测试结果显示AgGaS2纳米薄膜中Ag、Ga和S三元素的原子相对百分含量为25.12%,26.66%和49.93%,其化学计量比几近于1∶1∶2物质的量比.通过紫外可见透过光谱得到截止波长为470.1 nm,禁带宽度为2.64 eV.室温PL测试发现发光中心在456 nm,与AgGaS2晶体发光中心相比产生了约40nm的蓝移.以上结果充分表明SILAR法是一种制备AgGaS2纳米薄膜的有效方式.

关键词: 连续离子层吸附反应法 , AgGaS2纳米薄膜

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