王华
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燕红
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许积文
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江民红
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杨玲
人工晶体学报
以自制Mg0.2Zn0.8O∶Al陶瓷为靶材,采用室温溅射后续退火磁控溅射工艺制备了Mg0.2Zn0.8O∶Al紫外透明导电薄膜.研究了溅射压强和退火气氛对Mg0.2Zn0.8O∶Al薄膜结构和光电性能的影响.结果表明:溅射氩气压强不影响薄膜的相结构,但对薄膜的取向生长和结晶质量有一定影响；薄膜的方块电阻随溅射压强的增加先大幅减小后有所增大,溅射气压为2.0 Pa时,薄膜的方块电阻最低；不同溅射气压下制备薄膜的透光范围均已扩展到了紫外区域,而且具有85％以上的高透射率,但溅射气压对薄膜的带隙宽度和透光率没有明显影响；室温下溅射制备的薄膜经真空退火处理后其导电性能显著提高,但在空气中退火处理后其导电性能反而有所下降.
关键词:
Mg0.2Zn0.8O∶Al
,
紫外透明导电薄膜
,
磁控溅射
,
溅射压强
,
退火气氛
,
光电性能
杨振良
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宋忠孝
,
徐可为
稀有金属材料与工程
沉积在ZrN,TaN阻挡层上的Cu膜分别在真空和氢气、氮气的混合气氛下退火.利用SEM、XRD和电阻率来表征多层膜的热稳定性.实验结果表明:对于沉积在同种阻挡层上的多层膜在混合气氛中退火的热稳定性较真空退火的要高.对真空退火处理,沉积在ZrN阻挡层上的多层膜的热稳定性比沉积在TaN阻挡层上的要高.研究结果表明:多层膜的热稳定性的评价不仅跟多层膜本身的因素有关,如阻挡层的种类,还和退火气氛有关.
关键词:
沉积Cu膜
,
热稳定性
,
扩散阻挡
,
退火气氛
王磊
,
杜军
,
毛昌辉
材料导报
研究了低氧分压反应溅射法生长的SnO2薄膜于600℃ O2气氛和Ar气氛退火处理后的表面形貌、晶体结构以及表面成分,发现经氧化性气氛退火处理的SnO2为具有金红石结构的表面多孔薄膜.相比较而言,Ar气氛退火处理后的SnO2薄膜表面较为致密,相结构包含朱氧化完全的β-Sn.XPS分析进一步表明,氧化性气氛退火形成单一组分的SnO2,而惰性气氛退火后薄膜表面含有Sn、SnO和SnO2.另外,研究还发现薄膜表面吸附氧形态与退火气氛有关.
关键词:
二氧化锡
,
薄膜
,
反应磁控溅射
,
退火气氛
李海敏
,
邱春丽
,
朱建国
,
淮明哲
,
杨青松
稀有金属
利用溶胶-凝胶法在LaNiO3/SiO2/Si衬底上制备了0.7BiFeO3-0.3PbTiO3 (BFPT7030)薄膜,利用快速退火方式将薄膜分别在空气、氧气流、空气流、氮气流中进行后续退火处理.在空气、氧气流及空气流中退火的薄膜均完全结晶并呈现高度(100)择优取向.而在氮气流中退火的薄膜由于结晶很差,测试不出其电滞回线.空气中退火的BFPT7030薄膜表现出最大的剩余极化及最小的漏电流,Pr为30 μC·cm-2,而在空气流中退火的BFPT7030薄膜表现出最小的剩余极化(Pr∶ 13 μC·cm-2)及最大的漏电流.XPS测试结果表明,在空气、氧气流及空气流中退火的BFPT7030薄膜中Fe3+∶Fe2+分别为2.09∶1,1.65∶1及1.5∶1.而在氧气流及空气流中退火的BFPT7030薄膜中Bi及Pb的相对含量低于在空气中退火的薄膜.铁离子的价态波动是产生氧空位的原因,增加氧气有助于抑制氧空位的产生.虽然Pb的挥发会导致较差的微观结构,但其挥发并不会导致氧空位的产生.
关键词:
退火气氛
,
BiFeO3-PbTiO3
,
铁电
,
溶胶-凝胶
江宏
,
张勇
中国有色金属学报(英文版)
doi:10.1016/S1003-6326(16)64451-5
利用金属有机物分解法(MOD)，在 Pt/Ti/SiO2层的 Si (100)衬底上制备了 Bi3.15Nd0.85Ti3O12(BNdT)薄膜，并将其分别在氧气氛围和空气中进行快速退火处理。运用 X 射线衍射仪和场发射扫描电子显微镜对 BNdT 薄膜的晶体结构和形貌进行表征，通过在不同浓度气体氛围下监控材料电阻变化来研究其气敏性能。结果表明，在空气环境退火的 BNdT 薄膜具有多孔微结构和表面粗糙形貌，且退火氛围对 BNdT 薄膜气敏性能有较大的影响。在工作温度为100°C 时，在空气中退火的 BNdT 薄膜对1×10?6乙醇气体具有高的灵敏度，并且对乙醇气体的极限探测浓度达到0.1×10?6。其响应和恢复时间分别约为6 s 和10 s。研究结果为制作高性能乙醇传感器有指导的意义。
关键词:
BNdT 薄膜
,
乙醇气敏性能
,
金属有机物分解
,
退火气氛
,
低工作温度
