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微带蚀刻工艺影响因素的探讨

田波

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2004.02.020

阐述了在微带精密蚀刻过程中影响蚀刻速率变化的诸多因素,探讨了酸性氯化铜蚀刻液工艺控制应该注意的问题和解决办法.

关键词: 微带 , 蚀刻 , 酸性氯化铜 , 络合离子