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隧道二极管用锗单晶制备的温场设计

韩兆忠 , 胡国元 , 褚乃林 , 杨海

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.1998.02.011

通过设计合适的温场, 解决了重掺单晶生长过程中的组分过冷和位错密度高的问题, 获得了高掺杂浓度高迁移率的无位错单晶.

关键词: 温场 , 锗 , 单晶 , 重掺