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衬底温度对磁控溅射法制备ZnO薄膜结构及光学特性的影响

徐小丽 , 马书懿 , 陈彦 , 孙小菁 , 魏晋军 , 张国恒

功能材料

采用射频反应磁控溅射法在玻璃衬底上制备了具有c轴高择优取向的ZnO薄膜,利用X射线衍射仪、扫描探针显微镜及紫外分光光度计研究了生长温度对ZnO薄膜的结构及光学吸收和透射特性的影响.结果表明,合适的衬底温度有利于提高ZnO薄膜的结晶质量;薄膜在紫外区显示出较强的光吸收,在可见光区的平均透过率达到90%以上,且随着衬底温度的升高,薄膜的光学带隙减小、吸收边红移.采用量子限域模型对薄膜的光学带隙作了相应的理论计算,计算结果与实验值符合得较好.

关键词: 射频磁控溅射 , ZnO薄膜 , X射线衍射 , 光学特性 , 量子限域

Al掺杂ZnO薄膜的微结构及光学特性研究

孟军霞 , 马书懿 , 陈海霞 , 陶亚明 , 侯丽莉 , 贾迎飞 , 尚小荣

功能材料

采用射频磁控溅射方法在玻璃衬底上制备出不同Al掺杂量的ZnO(AZO)薄膜.利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和光致荧光发光(PL)等系统研究了不同Al掺杂量对ZnO薄膜的结晶性能、表面形貌和光学特性等的影响.结果显示,随着Al掺杂量的增加,薄膜的(002)衍射峰先增强后减弱,同时出现了(100)、(101)和(110)衍射峰,表明我们制备的AZO薄膜为多晶纤锌矿结构,适量的Al掺杂可提高ZnO薄膜的结晶质量,然而AZO薄膜的表面平整、晶粒致密均匀.薄膜在紫外-可见光范围的透过率超过90%,同时随着Al掺杂量的增加,薄膜的光学带隙值先增大,后减小.这与采用量子限域模型对薄膜的光学带隙作出相应的理论计算所得结果的变化趋势完全一致.

关键词: 磁控溅射法 , AZO薄膜 , 结构特性 , 光学特性 , 量子限域

功能纳米复合材料的研究现状与展望

汪敏强 , 李广社 , 易文辉 , 邹小平 , 张良莹 , 姚熹

功能材料

近年来,国内外材料科学界对纳米复合材料的研究非常重视,已采用化学和物理方法成功地将具有量子限域效应的功能纳米粒子均匀地嵌入到玻璃、聚合物和液体等基质中,获得了明显增强的功能特性,改善了材料的结构稳定性和可处理性,为新型功能材料的理论研究和实际应用奠定了基础.本文就国内外纳米复合材料的研究现状,并结合本实验室的研究成果对纳米复合材料的发展趋势作一概述.

关键词: 纳米复合材料 , 量子限域 , 非线性光学材料

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