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化学气相沉积法制备Ta2O5薄膜的研究进展

闫志巧 , 熊翔 , 肖鹏 , 黄伯云

功能材料

Ta2O5是重要的介电材料和光波导材料.从前驱体的选择方面综述了化学气相沉积法制备Ta2O5薄膜的研究进展,说明了五卤化钽和Ta金属有机化合物对CVD过程的影响,对这两类前驱体的优缺点进行了比较和评述,讨论了Ta2O5的生成机理,并对其发展方向作了简要的展望.

关键词: 化学气相沉积 , Ta2O5 , 薄膜 , 五卤化钽 , 金属有机化合物

玻璃微孔内ZnO的制备及表征

张海明 , 王之健 , 张力功 , 元金山 , 阎圣刚

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2002.01.008

ZnO是一种重要的紫外半导体光电器件材料.本文用金属有机化合物在玻璃管内高温加热分解迅速拉制的方法,在直径为169μm的玻璃丝内成功的制备了直径为13μm左右的ZnO.并用X射线衍射和PL谱研究了玻璃微丝内的ZnO.结果发现ZnO为多晶且具有六方形结构,峰值波长在370nm的PL谱表明所制得的ZnO为体材料.

关键词: ZnO , 热分解 , 金属有机化合物

卟啉在纯铁表面电化学修饰层的缓蚀作用

李伟明 , 宋诗哲

腐蚀科学与防护技术

采用稳态极化曲线、极化阻力、电化学阻抗谱等多种电化学测试方法,研究了硫酸、盐酸、氯化钠、氢氧化钾等溶液中卟啉在纯铁表面电化学修饰层的缓蚀作用。研究结果表明,卟啉电化学修饰层对铁基金属有很好的保护作用。在酸性、中性和碱性溶液中均有良好的阻蚀性能。尤其在盐酸溶液中,修饰层具有更佳的效果。氯离子的协同效应与修饰层的结构有密切关系。根据实验结果、对修饰层的缓蚀机理进行了探讨。

关键词: 表面修饰 , electrochemical modification , porphyrin , metal organic compound.

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