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高纯贵金属靶材在半导体制造中的应用与制备技术

何金江 , 陈明 , 朱晓光 , 罗俊锋 , 尚再艳 , 贺昕 , 熊晓东

贵金属

高纯 Au、Ag、Pt、Ru 贵金属及其合金溅射靶材是半导体 PVD 工艺制程中的溅射源材料,广泛用于半导体制造工艺中,成为保证半导体器件性能和发展半导体技术必不可少及不可替代的材料。材料的高纯化、高性能贵金属及其合金靶材的制备(金属熔铸、热机械处理、粉末烧结、焊接等)以及贵金属靶材残靶及加工余料残屑的提纯回收利用是研究发展的重点,以实现贵金属靶材产品的高效增值。

关键词: 金属材料 , 半导体 , 溅射靶材 , 高纯 , , , ,

第十一届全国化学镀会议(第二轮征文通知)

材料保护

由中国腐蚀与防护学会耐蚀金属材料专业委员会主办、南京德磊科技有限公司承办的第十一届全国化学镀会议(The 11th China Electroless Plating Conference,CEPC-11)将于2012年9月24~27日在南京华茂国际大酒店召开。本届会议主题:“发展绿色环保施镀技术,创新、拓宽先进功能产品”。

关键词: 化学镀 , 征文通知 , 专业委员会 , 金属材料 , 绿色环保 , 功能产品 , 工作者 , 南京

第十一届全国化学镀会议第一轮征文通知

材料保护

第十一届全国化学镀会议将于2012年9月下旬在南京召开,由中国腐蚀与防护学会、耐蚀金属材料专业委员会主办,会议主题为“发展绿色环保施镀技术,创新、拓宽先进功能产品”。热烈欢迎相关人士参加本届年会并踊跃投稿。

关键词: 化学镀 , 征文通知 , 专业委员会 , 金属材料 , 绿色环保 , 功能产品 , 耐蚀 , 施镀

高温钛合金Ti-60粉末的制备和表征

李少强 , 刘建荣 , 王清江 , 闫伟 , 李玉兰 , 杨锐

材料研究学报

采用感应熔炼气体雾化法制备了掺杂稀土Nd的高温钛合金Ti-60粉末.结果表明,在制备过程中合金元素几乎没有烧损,增氧量小于100×10~(-6);粉末的平均粒度(d_(50))约为100 μm,满足正态分布,雾化气体的压力增大则粉末的粒度减小;粉末的形貌大多呈球形,只有少量的形状不规则;部分粉末是空心的,其比例随着粉末粒度的增加而增大;粉末表面有明显的凝固特征,具有清晰的二次枝晶;随着Nd含量的增加,粉末表面富Nd稀土相的析出增加;粉末由针状α'马氏体组织构成,当真空退火温度超过700℃时马氏体开始微量分解,当温度升高到850℃时马氏体大量分解.

关键词: 金属材料 , 高温钛合金 , 气体雾化 , Ti-60粉末 , 粒度分布 , 表观形貌 , 空心粉末 , α'马氏体分解

基于IMO标准的E36级低合金船板钢货油舱上甲板环境全周期腐蚀行为与机理

梁金明 , 唐荻 , 武会宾 , 岳远杰

材料研究学报

为探究低合金钢在o2-CO2-SO2-H2S湿气环境中的腐蚀规律和机理,应用基于IMO标准自制的货油舱上甲板环境腐蚀模拟装置,对1种E36级低合金钢的全周期腐蚀行为进行研究.标准腐蚀试验后,测量了不同周期的腐蚀减薄量和腐蚀速率速率,拟合了25年外推腐蚀减薄量计算公式和曲线,观察去除腐蚀产物膜前后的宏观形貌,应用SEM对表层及截面腐蚀产物膜的微观形貌及结构进行分析,通过XRD和EDS分析腐蚀产物膜的物相组成和元素分布.结果表明:IMO标准全周期腐蚀实验后,实验用低合金钢的25年外推腐蚀减薄量为2.21 mm.在腐蚀前期,由温湿交替和酸性气体导致酸性液滴在腐蚀产物膜表层形成,进而形成腐蚀鼓泡;腐蚀后期,腐蚀鼓泡长大并伴随脱落,最终表层腐蚀产物膜全部脱落,内层腐蚀产物膜裸露于腐蚀环境中.腐蚀产物膜外层主要由α-FeOOH、γ-FeOOH、元素S、FeS2、Fe1-xS和FeS组成,结构相对疏松,内层腐蚀产物膜主要由致密的α-FeOOH组成.

关键词: 金属材料 , 货油舱 , IMO标准 , 低合金钢 , 上甲板 , 全周期 , 腐蚀行为 , 腐蚀机理 , 腐蚀产物膜

大变形管线钢中F/B多相组织应变硬化行为和应力比研究

汤忖江 , 尚成嘉 , 关海龙 , 王学敏

材料研究学报 doi:10.11901/1005.3093.2015.696

采用TMCP工艺获得了5种不同贝氏体体积分数的铁素体/贝氏体(F/B)多相钢.通过纵向力学性能分析,并结合修正C-J分析方法研究了以F/B多相组织为特征的大变形管线钢的应变硬化行为,获得了F/B多相钢中贝氏体体积分数与应力比、屈强比的关系,并通过修正C-J分析对此现象的机理进行了合理的阐释.结果表明,大变形管线钢的弹性形变阶段主要对应修正C-J分析中的第Ⅰ阶段,塑性形变阶段包括修正C-J分析第Ⅱ和第Ⅲ阶段,屈服点(应变0.5%)附近阶段可跨越第Ⅰ和第Ⅱ阶段.F/B多相钢中各阶段的应变硬化能力存在显著差异,并且其应变硬化行为呈现出与贝氏体体积分数相关的特性.通过适宜的组织调控可以实现管线钢强度和塑性的最佳匹配.应力比Rt1.5/Rt05适宜用于表征管材屈服点附近的应变硬化能力,应力比Rt2/Rt1、Rt5/Rt1均适宜用于表征X70级管线钢塑性阶段应变硬化能力,Rt2/Rt1较适宜用于表征X80级管线钢塑性阶段应变硬化能力.

关键词: 金属材料 , 铁素体/贝氏体多相钢 , 大变形管线钢 , 应变硬化行为 , 修正C-J分析 , 贝氏体体积分数 , 应力比 , 屈强比

孔径对第三代镍基单晶高温合金DD33板式试样室温拉伸性能的影响

周忠娇 , 刘涛 , 张功 , 王莉 , 楼琅洪

材料研究学报 doi:10.11901/1005.3093.2015.131

本文研究了孔径(φ=0.5、0.7及0.9 mm)对第三代镍基单晶高温合金DD33板式试样室温拉伸性能的影响.采用ARA-MIS-光学动态应变测量系统原位观测了拉伸过程中不同孔径孔周围的应变分布,并利用扫描电镜观察了拉伸试样的断口形貌.结果表明:随着孔径的增大,试样的屈服强度和抗拉强度均降低.拉伸过程中孔周围产生应变集中,而且只在孔边很小的范围.弹性变形阶段,孔边应变增长缓慢;一旦发生塑性变形,应变快速增长.孔径越大,孔周围的应变集中越严重,应变梯度越大.上述研究结果对理解含冷却孔单晶叶片的变形行为,优化叶片结构,从而提高叶片寿命具有重要意义.

关键词: 金属材料 , 材料的组织结构 , 缺陷与性能 , 室温拉伸 , ARAMIS系统 , 镍基单晶高温合金 , 孔径 , 应变

中温快烧银浆表面亮度的影响因素

张志旭 , 李宏杰 , 曲海霞 , 冀亮君 , 席建全

贵金属

银层不亮是中低温烧结银浆经常出现的问题.研究了乙基纤维素、玻璃、添加剂及银粉对烧结银层发红的影响.结果表明,乙基纤维素的灰分和玻璃中的重金属氧化物是导致烧结银层发红的重要原因.优化配方使用混合银粉,加入复合添加剂和氧化剂,选用合适的玻璃粉,所得银浆料快速烧结,银层表面白色光某、致密,其粘度、印刷性能、方阻、附着力等各项指标符合要求.

关键词: 金属材料 , 银浆 , 性能 , 中温快烧 , 乙基纤维素 , 玻璃 , 银粉 , 添加剂

一维金纳米材料的研究进展:Ⅰ.金纳米棒(丝)的光学性质和潜在应用

董守安

贵金属 doi:10.3969/j.issn.1004-0676.2008.03.011

目前在金科学技术的诸多方面,各向异性的金纳米粒子,尤其是一维金纳米结构材料成为科学界关注的焦点,因为这些材料具有比球形金粒子更为奇异的光学和电学性质.这些性质导致它们在光电子器件和生物医学等领域中巨大的应用潜力是能够预见的.为此,作者介绍了关于一维金纳米结构材料的光学性质、合成和组装最近的研究进展,其中包括金纳米棒和金粒子/碳纳米管复合物.本综述分两部分,第一部分着重介绍金纳米棒的光学性质和潜在应用;金纳米棒和金纳米粒子/碳纳米管复合材料的合成和组装研究将在第二部分评述.

关键词: 金属材料 , , 一维金纳米材料 , 光学性质 , 合成 , 组装 , 应用

Au-MgF2与Ag-MgF2靶材制备的实验研究

唐亚陆 , 付兴国 , 张辉 , 张鹏翔 , 陈亮维

贵金属 doi:10.3969/j.issn.1004-0676.2007.02.007

Au-MgF2与Ag-MgF2薄膜是一种新型复合材料,PLD和磁控溅射是很好的镀薄膜方法.文章介绍了MgF2靶材、Ag-MgF2靶材及Au-MgF2靶材的制备方法.通过实验摸索,得出MgF2靶材的压片条件;通过不同温度下烧结MgF2靶材,得出了MgF2被氧化的初始温度及其烧结的最佳温度和烧结时间;通过与真空炉烧结及氩气保护中烧结对比,获得在空气氛围中烧结MgF2的简易方法.

关键词: 金属材料 , Au-MgF2 , Ag-MgF2 , PLD , 烧结温度 , MgO , XRD检测

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