饶瑞
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徐重阳
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王长安
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赵伯芳
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周雪梅
,
曾祥斌
功能材料
介绍了一种非晶硅薄膜低温晶化的新工艺--金属诱导非晶硅薄膜低温晶化.在非晶硅膜上蒸镀金属铝薄膜,而后于氮气保护中退火,实现了非晶硅薄膜的低温(＜600℃)晶化.利用X射线衍射、光学显微镜及透射电镜等测试方法,研究了不同退火工艺对非晶硅薄膜低温晶化的影响,确定了所制备的是多晶硅薄膜.
关键词:
金属诱导
,
非晶硅薄膜
,
低温晶化
,
多晶硅薄膜
王瑞春
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沈鸽
,
何智兵
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赵高凌
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张溪文
,
翁文剑
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韩高荣
,
杜丕一
材料科学与工程学报
doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2002.01.024
本文介绍了金属诱导晶化非晶态硅制备多晶硅薄膜的新方法,综述了制备金属/非晶态硅复合薄膜的各种方法与晶化结果,着重介绍了金属低温诱导的机理及其在器件应用方面的可行性.
关键词:
金属诱导
,
非晶硅
,
多晶硅
,
薄膜
