汤育欣
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陶杰
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陶海军
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张焱焱
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李转利
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田西林
稀有金属材料与工程
采用射频磁控溅射在玻璃基片上制备了参数不同的钛膜,并选取钛膜在HF水溶液中恒压阳极氧化得到TiO2纳米管阵列.结果表明:溅射压强从0.1 Pa升至1.5 Pa,薄膜致密度显著下降,溅射压强以0.5 Pa为宜;溅射功率为105 w,溅射速率约为0.23 nm/s,溅射时间延长,薄膜厚度线性增加;衬底预热有利于提高膜的致密度和结晶性能,在衬底温度低于300℃时,钛晶粒在(002)晶面择优生长,当升温到更高温度时,(010)峰、(011)峰出现且强度升高,而(002)峰的强度降低:在室温下,当溅射功率小于150 W时,薄膜具有较高密度,晶粒生长各向异性,增至167 W时,钛晶粒在(002)晶面择优生长,呈明显柱状六方晶表面形态,且晶界有明显孔洞存在,致密度下降.将溅射功率为150 W,工作压力为0.5 Pa,溅射时间为1 h条件下所制备的钛膜在氧化电压为10 V、电解液为0.5%(质量分数,下同)HF水溶液中室温阳极氧化,得到高规整度的TiO2纳米管阵列.
关键词:
磁控溅射
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钛薄膜
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阳极氧化
,
TiO2纳米管阵列
高晓明
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孙嘉奕
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胡明
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翁立军
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伏彦龙
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杨军
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谭洪根
机械工程材料
采用多弧离子镀方法在低温(166 K)、室温(300 K)以及不同氩气压力(0.2～0.8 Pa)条件下沉积钛薄膜,通过X射线衍射仪、原子力显微镜、显微硬度计和划痕试验机等对薄膜的物相结构和性能进行了研究.结果表明:不同工艺条件下沉积的钛薄膜均为密排六方纳米晶ω-Ti和α-Ti的两相复合相结构;在低温、低氩气压条件下沉积的钛薄膜具有较高含量的硬脆ω相,因而具有较高的显微硬度,同时还表现出良好的膜基结合性能,比较适宜用作固体润滑薄膜与钢基体间的过渡层,以改善其膜基结合性能和承载能力.
关键词:
低温沉积
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钛薄膜
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物相结构
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性能
张慧婷
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周超
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罗丽萍
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李遂焰
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陈俊英
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孙鸿
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黄楠
功能材料
采用物理化学稳定性较好的石英玻璃为基底，用非平衡磁控溅射技术于其表面沉积生物相容性良好的钛薄膜，然后在钛薄膜表面共价固定纤连蛋白。采用傅立叶红外光谱（FT—IR）和X射线光电子能谱（XPS）对各步处理后的材料表面特征进行检测和分析。主要研究了用MicroBCA检测法对样品表面固定的纤连蛋白的定量表征的可行性，并将该结果与用石英晶体微天平（QCM）方法检测获得的纤连蛋白量做了对比和深入分析。结果显示，纤连蛋白可以成功固定到钛薄膜表面，MicroBCA检测法和QCM法的检测结果具有一致性，样品表面纤连蛋白的固定量大约在767～789ng／cm2。
关键词:
钛薄膜
,
纤连蛋白
,
MicroBCA
,
QCM
,
定量
